接触(触针)式表面轮廓测量仪两种校准方法的比较分析

本文对接触(触针)式表面轮廓测量仪的两种校准方法进行比较。两种校准方法的相同点:两种校准方法都对仪器固有参数,如静态测量力、轮廓垂直分量(Z轴)和水平分量(X轴)进行校准。两种校准方法存在的差异:福建地方校准规范规定的方法是在固有参数基础上将轮廓仪软件系统里的直线度、弧度、角度等参数进行校准,系统地反映仪器特性;而京津冀地方校准规范规定的方法是采用量块和平晶作为标准,利用其具有的研合性对轮廓仪软件系统的阶梯参数进行校准。由于轮廓仪软件系统的直线度、弧度、角度、阶梯等参数都是依据Z轴分量和X轴分量进行数据分析计算而来。因此,只要确保Z轴和X轴分量的示值准确,则轮廓仪其他参数示值也就准确。采用这两种方法对同一台轮廓仪进行校准并分析试验数据,印证了两种校准方法的测量结果都可信。

接触式轮廊测量中触针测量力的分析

接触式轮廓测量仪中，适当测量力的施加是十分重要的，本文介绍了依靠十字片簧弹性支承变形来提供测量力的测量机构．在分析其动态特性的基础上，导出了触针测量力的变化规律。

双狭缝式光触针表面轮廓传感器的研究

本文提出一种双狭缝式光触针表面轮廓传感器,并采用激光束光学方法计算其特性及各结构参数与特性的关系.实验研究所得到的特性曲线和理论分析是一致的.本文还给出了对矩形轮廓及三角形轮廓样板的实测结果.

基于数学形态学的触针重建

讲述在接触式测量时触针产生图像失真的原因,然后在数学形态学的基础上介绍了一种触针重建的方法来减少触针在测量中的影响.

触针对LSI生产中膜层台阶表面测量的影响

接触式台阶测量仪是ＬＳＩ生产工艺中的重要检测仪器，其中，触针是关键部件之一。本文叙述了触针对膜层台阶表面测量的影响，包括：触针的形状、尺寸对表面形貌测量中的水平分辨力的限制；选择合适的触针测量力及针尖形状，实现对样本表面的无损测量。同时，本文推导出相应的公式，为提高触针测量的精度提供了理论依据。

触针几何形状对粗糙度测量误差的影响

通过对触针几何形状的分析,论述了触针对粗糙度测量精度的重要影响。它对合理选择不同规格测量 仪、触针和相关测量技术指标,减小测量仪示值误差具有一定的指导意义。

基于遗传算法的触针扫描传感器测杆机构动态特性的优化

杠杆触针扫描位移传感器是触针轮廓仪的关键装置,其测杆机构动态特性是保证触针轮廓仪测量精度和测量速度的基础。本文提出一种传感器测杆机构优化设计的方法:建立测杆机构动力学模型,基于有限元分析方法和触针式轮廓仪校准规范建立传感器测杆机构动态特性优化目标函数;基于神经网络算法建立测杆机构结构参数与目标函数的映射关系,利用遗传算法对目标函数进行求解,获取结构参数设计最优解;对优化后的测杆机构进行仿真,通过优化设计前后对比试验验证该优化方法的有效性。该方法对改善传感器动态响应特性、抑制测杆机构针尖飞行现象、提高轮廓仪传感器测量精度和测量效率具有重大意义。

基于Nelder–Mead单纯形法的杠杆式触针轮廓仪非线性误差补偿

杠杆式触针轮廓仪由于其测量精度高、测量范围广,成为常用的表面轮廓测量仪器。但是杠杆结构在测量过程中带来的非线性误差对轮廓测量精度影响较大,该文对基于激光干涉原理的高精度大量程杠杆式触针轮廓仪进行非线性误差分析,应用Nelder–Mead单纯形法对误差进行补偿,并通过高精度标准球冠进行补偿结果的校验实验。通过实验结果的分析可知,该方法可以有效地减小测量结果的非线性误差,将触针式轮廓仪在大量程测量时的X、Z向精度提高到±1μm以内。

一种新型便携式双触针表面粗糙度测量仪

本文介绍一种新型便携式双触针表面粗糙度测量仪的设计原理与方法。

新型光触针式表面粗糙度测量系统

介绍一种基于光驱聚焦检测技术的光触针式表面粗糙度测量系统。测量光束聚焦在被测表面上，当表面高度变化时，音圈电机驱动聚焦物镜移动，使光点始终聚焦在被测表面上，音圈电机的移动量就反映了表面高度的变化。该系统的垂直分辨力可达０．０１μｍ，不仅适用于表面粗糙度测量，还可用于１ｍｍ范围内的相对长度测量。

便携式双触针表面粗糙度测量仪

本文介绍一种新型的利用电感原理的触针式表面粗糙度测量仪。文中论述了该测量仪的测量原理、电路结构、工作过程和技术指标。

气浮支承式触针测量系统径向动态性能研究

触针表面形貌测量仪是生产科研中应用广泛的仪器,杠杆式触针由于其结构原因,在测量时会产生非线性误差,影响测量结果的精度。介绍了一种气浮触针式测量传感器,触针轴运动方向与位移测量方向一致,有效地避免了非线性误差;在研究中建立了气浮支承式触针测量系统的运动模型,分析了测量系统的动静态特性,研究了影响气浮支承径向动态性能的因素,进行了径向刚度和动态参数的理论仿真模拟,并通过动态特性试验测试和分析得到传感器最大扫描频率为125Hz;搭建了气浮触针式表面形貌测量系统并进行测量试验,得到传感器测量的相对误差为0.8%。

一种新型便携式双触针表面粗糙度测量仪

本文介绍一种新型的表面粗糙度测量仪，该仪器具有精度高、便于携带、适应面广等特点。本文分析了该测量仪的测量原理，同时给出了该测量仪的电路结构、工作过程和技术指标。

一种新型便携式双触针表面粗糙度测量仪

本文介绍一种新型的表面粗糙度测量仪，该仪器具有精度高、便于携带、适应面广等特点。本文分析了该测量仪的测量原理，同时给出了该测量仪的电路结构、工作过程和技术指标。

触针接触式表面粗糙度测量仪

车、铣、刨、磨及其他所有机械加工过程都会给零件表面留下特殊的参差不齐现象。切削刀具的选择、机床状态、转速、进给量、振动及其他环境干扰等因素对这些参差不齐也有影响。表面质量是形成一个表面的许多峰和谷以及它们在表面上的方向。根据分析可以把表面质量分解为三个组成部分：粗糙度、波纹度和轮廓。

超声引导下针刀神经触激术联合青藤碱注射液介入治疗梨状肌综合征的效果

目的 探讨超声引导下针刀神经触激术联合青藤碱注射液介入治疗对梨状肌综合征(PS)患者的效果。方法 将符合标准的30例PS患者随机分为对照组和联合组,对照组接受塞来昔布胶囊、甲钴胺片联合祖师麻片治疗,联合组接受超声引导下针刀神经触激术联合青藤碱注射液介入治疗。比较两组疼痛程度、腰背肌功能、疼痛相关神经因子水平。结果 治疗后5、10 d,两组视觉模拟量表评分均下降,且联合组低于对照组(P<0.05);治疗后5、10 d,两组日本骨科协会评估治疗分数各维度评分均上升,且联合组高于对照组(P<0.05);两组5-羟色胺和前列腺素E2表达均降低,且联合组低于对照组(P<0.05)。结论 应用超声引导下针刀神经触激术联合青藤碱注射液介入治疗可降低PS患者疼痛,减少疼痛相关因子的释放,提高腰背肌功能。

大量程触针杠杆式轮廓仪的非线性误差分析和补偿

介绍了一种基于光栅干涉测量原理的大量程、高精度触针杠杆式表面形貌传感器，并对传感器在大量程测量时的非线性误差进行了分析。测量时轮廓仪在水平和垂直方向上都会由于测杆绕固定支点的转动而产生非线性误差，为此提出了一种对水平和垂直方向上非线性误差进行校正的新方法。通过使用大量程、高精度的一维垂直微位移工作台和标准楔形斜块进行误差校正。最后分别给出校正前后误差曲线，并进行对比。通过分析可知，此方法可以有效减小测量时的非线性误差，大大提高轮廓仪在进行大量程测量时的精度，从而实现大量程、高精度测量。

针刀结合触激术治疗梨状肌综合征疗效观察

目的:观察针刀触激术治疗梨状肌综合征的临床治疗效果。方法:选取78例梨状肌综合征患者,随机分为A、B两组,给予A组患者局部封闭疗法治疗,给予B组患者针刀触激术治疗,对比两组临床治疗效果。结果:两组患者临床效果比较后显示,A组封闭治疗的患者总有效率为61.5%,B组针刀触激术治疗的患者总有效率为82.1%,B组患者的临床治疗效果明显优于A组,差异显著,具有统计学意义(P<0.05)。结论:针刀触激术治疗梨状肌综合征,临床效果显著,值得推广与应用。

针灸结合针刀触激术治疗腰椎间盘突出症下肢症状的临床观察

目的观察针灸结合针刀触激术治疗腰椎间盘突出症下肢症状的临床疗效。方法采用随机数字表及随机余数分组法将62例有下肢症状的腰椎间盘突出症患者分为两组,每组31例。对照组给予针灸常规治疗,实验组除了针灸治疗以外,同时给予针刀触激术治疗。使用VAS疼痛评分量表对两组患者治疗前后疼痛程度进行评价。对两组患者的症状与主诉、下肢功能、临床体征等方面评分进行比较。结果实验组治愈率及有效率分别为80.65%、90.32%;均高于对照组的35.48%、74.19%(P<0.05);下肢功能及体征改善优于对照组(P<0.05)。结论针灸结合针刀触及术能很好地改善腰椎间盘突出症引起的下肢症状。