计算全息板干涉检测工业镜头凸自由曲面(特邀)

工业镜头元件口径小、数量多、精度要求高,将自由曲面用在镜头凸面上会导致面形复杂、偏离量大,对表面面形检测提出了很高的挑战。提出了基于计算全息板(Computer-Generated-Hologram,CGH)的干涉检测方法,并利用Zemax对光路进行优化设计,建立了镜头装夹误差对检测结果的影响分析模型,提出了镜头高精度干涉检测方案,并结合实验验证了分析模型和检测方案的可靠性。实验结果表明:利用CGH可实现凸自由曲面工业镜头的全口径干涉检测,检测结果为0.57μm PV (满足镜头检测需求),并结合轮廓仪对比验证了干涉测量的可靠性。

计算机产生全息图对补偿器检测的技术研究

用一种计算全息板代替补偿器零检验光路中理想的大型非球面 ,实现对补偿器的定量检验 用于检测补偿器旋转对称的二元反射式全息板根据非球面方程设计 ,并确定其光程差 ,再由激光直写 (精度可达 0 6μm)来制作完成 ,合成相当于理想非球面反射波前 其检测精度小于λ/ 10