基于计算机显微视觉的微米/亚微米结构的测量

针对微纳制造中光刻掩模板检查对线宽、线间距等几何量测量的技术需求,开发了一个基于计算机显微视觉的微小结构几何量的测量系统。该系统采用光学分辨率为606nm的光学成像设备,采用LabVIEW的Vision工具编写的图像测量软件具有多方向轮廓点自动拾取模块、宏微测量策略、自动对焦功能等关键功能。实验与分析结果表明该系统可以实现对微米/亚微米结构的测量。

显微视觉快速自动调焦方法及实验

分析了显微视觉与计算机宏观视觉的特性,得出显微视觉下模糊效果是由几何光学和波动光学两部分造成的结论,并用标定实验验证了显微视觉下扩散参数与物距呈线性关系这一假设。研究了现有基于聚焦的自动调焦DFD(Depth from Focus)方法,提出了显微视觉下一种新型的基于离焦(Depth from Defocus)的快速自动调焦算法,该算法只要给定两幅模糊图像,就可直接计算出目标聚焦平面位置。实验结果显示,该方法的聚焦速度比传统DFF方法(本文选择SML法)快2～4倍。改进了的DFD算法提高了自动调焦性能,增强了显微光学鲁棒性,调焦精度较高,且具有较好的实用性。