X射线衍射多晶谱计算机深度层析技术探索

提出了一种可用于将来自不同真实深度处的X射线衍射谱信息各自分离出来的技术方案,可以得出不同深度处的衍射强度、峰位和线形.该方法是定量和无损的,并且其深度尺度是真实尺度.此外并提出了吸收深度的概念.这一技术可称为直接法X射线衍射计算机深度层析技术,其可行性用Ni/Mo.双层膜样品进行了初步验证.该方法可应用于定量无损地测量峰形、峰位和峰强的深度剖面,并有可能用于界面层分析.