计量光栅信号质量综合评价系统

光电轴角编码器中的莫尔条纹信号质量决定了整个系统的细分精度。计量光栅信号质量综合评价系统由编码器、数据采集卡和相应的软件组成,采用一种以莫尔信号离散采集和数据处理为主的数字化检测方法,实现对莫尔条纹信号质量各项指标的评价,对提高测量精度以及光栅系统的设计具有一定意义。

计量光栅空间位姿参数光场输出模型与仿真

光栅安装或应用过程中光栅传感器指示光栅、标尺光栅相互位置发生改变,导致莫尔条纹发生畸变,直接影响着测量精度和后续处理系统的复杂程度。本文采用傅里叶频谱分析方法,建立包含指示光栅、标尺光栅位置姿态参数的光场输出模型,给出了两栅不平行时输出光场的数学表达式,对主要影响因子进行了较详细的分析,并在Matlab中进行了仿真,给出了不同安装偏角下的莫尔条纹误差值及变化趋势,讨论了接收传感器的结构尺寸对测量结果的影响,得出了与莫尔条纹同尺度的接收系统有最小的测量误差,其结果对光栅副的精度设计和结构设计有较好的指导性。

计量光栅莫尔信号微控制器细分技术的研究

计量光栅位移传感器输出的两路正交莫尔信号包含了位移的全部信息,通过对其进行数据采样和数据处理可以达到对莫尔信号高倍细分的目的。本文提出了一种新的细分算法,给出了以微控制器为核心的细分电路结构和工作原理,并分析了这种细分方法的分辨力。

用发散点光源照明实现计量光栅高倍光学倍频

本文根据Talbot成像公式推导出计量光栅在发散光照明下,距光栅出射面不同距离处的光强分布及光学倍频率,分析了影响系统精度的因素。

检测计量光栅均匀性误差的探讨

叙述了统一计量光栅均匀性误差的检测方法．采用莫尔条纹对比度系数，将均匀性误差百分比表示转换成位移值表示．最后对影响均匀性误差的因素作了讨论．

计量光栅制造综述

计量光栅作为一种重要的传感器件,广泛应用于工业生产的诸多领域。系统介绍了计量光栅的种类,重点介绍了国内外光栅制造的主要方法、光栅复制工艺以及衡量光栅质量的基本指标和检测方法。

计量光栅辨向技术

提出了一种新的辩向技术，即在传统的用硬件实现对整周期信号进行辩向的基础上，采用软件的方法，对转动不超过一周期的信号进行辩向，以实现对计量光栅相对移动量的整周期和不足一周期的数的精确计数。

曝光量对计量光栅均匀性的影响

根据光栅的透射特性和曝光及显影机理,对曝光量以及计量光栅线条的黑白比和其均匀性之间的内在关系进行了分析,从理论上给出了曝光量对线条黑白比以及线条黑白比和曝光量对计量光栅均匀性的影响,为提高计量光栅的均匀性给出了理论指导。本文给出了保持曝光量均匀的措施,实验证明,改进后刻制出的计量光栅的均匀性误差较小。

计量光栅尺四倍频辨向电路

用光栅尺来进行位置和位移检测的伺服系统中,当被测物移动一个栅距时,更输出一个周期的交变信号,用计数器计下光电信号变化的周期数即可求得位移量。

计量光栅均匀性误差的研究

本文对计量光栅制造工艺中，易引起均匀性误差的主要因素进行了分析讨论，并提出了相应控制措施。

异或门鉴相在计量光栅检测中的应用

本文比较了异或门鉴相与双稳态鉴相的差异，指出采用异或门鉴相原理在检测计量光栅刻划误差中的优势，介绍了在实际工作中得到验证的情况。

解决计量光栅仪器特殊误差的方法

针对 JDY- 4型测长仪的边界区域产生的一种未定粗大误差进行实验研究 ,作出误差分布曲线 ,找到产生误差的原因 。

基于FPGA器件的计量光栅细分技术的实现

主要介绍了一种基于可编程逻辑器件FPGA,用VHDL硬件描述语言作为平台,实现计量光栅4倍频细分技术的方法。采用细分技术可以提高计量光栅的分辨率和测量精度,而利用软件平台实现细分,则可以根据实际测量需要,灵活地改变电路的细分倍数。

基于CCD视频采集的计量光栅技术

介绍了一种基于CCD的计量光栅技术,建立了微距测量系统.系统由CCD摄像头采集双光栅干涉产生的莫尔条纹信号,采用视频采集卡对CCD摄像头输出的标准模拟视频信号进行A/D转换,并通过PCI接口传输到计算机,最后由计算机编写VC++上位机程序实现条纹的接收、显示和软件自动计数,并通过软件细分技术提高测量精度.经实验验证,该系统结构简单、运行稳健可靠.

计量光栅传感器超高测量分辨力探究及应用

计量光栅传感器主要用于线位移和角位移的测量。通过辨向电路对莫尔条纹的移动方向进行正确判断,莫尔条纹具有的位移放大作用和误差平均效应使计量光栅传感器具有较高的测量分辨力;对莫尔条纹进行的细分技术,进一步大大提高了计量光栅传感器的测量分辨力,从而使其达到纳米级超高测量分辨力。计量光栅传感器由于具有分辨力极高等一系列优点,因而在数控伺服系统、坐标镗床等高精度数控机床、高精度测试仪器、大规模集成电路制造设备等中被广泛应用。

光谱法测试计量光栅参数

本文阐述光谱法测试计量光栅参数的方法,借助于测量计量光栅的功率谱强度及其相应量来推算光栅的栅距,振幅透过率分布及光栅开口比等一些光栅元件的重要参数,为研究光栅质量提供了部分依据。

离子束刻蚀计量光栅的衍射现象

介绍了计量光栅经离 子束刻蚀后的衍射现象，实测了刻蚀表面的形貌特征，还对这种衍射现象进行了讨论。

浅述计量光栅技术

利用光栅的莫尔条纹原理,把计量光栅作为精密计量元件,广泛应用于仪器仪表及机床等方面,有利于实现测量的自动化、数字化以及动态测量,并有利于提高测量精度。本文主要从莫尔条纹原理、计量光栅系统设计、光栅细分技术等方面对计量光栅测量技术及其特点进行介绍。随着现代电子技术的发展,计量光栅技术被应用于更多更广泛的领域,并向着纳米级精度突破。

一种采用计量光栅技术的智能式自动微波测量系统的研究

微波测量中的基本问题是长度测量问题。本文提出一种采用计量光栅技术、微计算机技术和伺服驱动控制技术提高毫米波波异测量线测量精度和实现自动测量的新方法。测长传感器为25刻线/mm玻璃光栅尺,采用40细分线路实现1μm的测量分辨率。在对已测得的驻波场分布的数据进行计算机处理后,可自动显示、打印出关于信号和网络特性的数值结果,或绘出smith圆图。

计量光栅测量技术研究

计量光栅形成的莫尔条纹对位移的光学放大作用,在位移精确测量领域有很高的工程价值。光栅线位移传感器得到很大发展,成为该领域关键技术。