对计量型原子力显微镜纳米测量系统的比对验证

原子力显微镜是广泛应用的纳米测量仪器。中国计量科学研究院成功研制了计量型原子力显微镜纳米测量系统,本文介绍了该系统的技术特点和指标,并通过与发达国家的比对测试验证了该系统在测量原理、测量精度及可溯源性方面已达到了国际先进水平。

常规计量器具MSA运用要点浅析

通过对测量系统分析（MSA）进行研究，指出常见容易疏忽的分析时机。研究和总结计量型测量系统分析的几个关键要素：标准件及零件的选择、操作方法、分辨力、计量器具能力研究及计量器具稳定性研究等。．