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计量型紫外显微镜微纳米线宽测量技术的研究
被引量:
5
1
作者
尹传祥
高思田
+4 位作者
赵贤云
李琪
施玉书
李伟
卢荣胜
《计量学报》
CSCD
北大核心
2015年第6期575-578,共4页
计量型紫外显微镜微纳米线宽测量技术是利用光电倍增管的光电转换效应,将线宽的光学信号转换为电信号,并利用后续信号采样处理电路,提取出线宽的轮廓信号。利用激光干涉仪等精密定位装置,搭建了一套线宽测量系统,对线宽标称值为3μ...
计量型紫外显微镜微纳米线宽测量技术是利用光电倍增管的光电转换效应,将线宽的光学信号转换为电信号,并利用后续信号采样处理电路,提取出线宽的轮廓信号。利用激光干涉仪等精密定位装置,搭建了一套线宽测量系统,对线宽标称值为3μm的标准样板进行测量,得到的线宽测量值为3.025μm,与标称值仅相差25nm。实验表明:该方法可以准确地获取线宽的边界信号,实现线宽的准确测量。
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关键词
计量
学
微纳米线宽测量
计量型紫外显微镜
光电倍增管
下载PDF
职称材料
题名
计量型紫外显微镜微纳米线宽测量技术的研究
被引量:
5
1
作者
尹传祥
高思田
赵贤云
李琪
施玉书
李伟
卢荣胜
机构
合肥工业大学
中国计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2015年第6期575-578,共4页
基金
国家科技部支撑计划(2011BAK15B01
2011BAK15B02)
文摘
计量型紫外显微镜微纳米线宽测量技术是利用光电倍增管的光电转换效应,将线宽的光学信号转换为电信号,并利用后续信号采样处理电路,提取出线宽的轮廓信号。利用激光干涉仪等精密定位装置,搭建了一套线宽测量系统,对线宽标称值为3μm的标准样板进行测量,得到的线宽测量值为3.025μm,与标称值仅相差25nm。实验表明:该方法可以准确地获取线宽的边界信号,实现线宽的准确测量。
关键词
计量
学
微纳米线宽测量
计量型紫外显微镜
光电倍增管
Keywords
metrology
micro-nano linewidth measurement
metrological utraviolet microscope
photomuhiplier tubes
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
计量型紫外显微镜微纳米线宽测量技术的研究
尹传祥
高思田
赵贤云
李琪
施玉书
李伟
卢荣胜
《计量学报》
CSCD
北大核心
2015
5
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