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新型叉指电容设计建模与实验研究
被引量:
7
1
作者
唐忠林
杨建华
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021年第10期16-22,共7页
文中设计一种具有交扣叉指结构和等电位隔离电极的新型叉指电容,建立了新型叉指电容的表面电容通用解析模型,并进行了实验验证。结果表明:表面电容解析模型的理论计算值与实际测量总电容值之间存在高度的线性相关性,线性拟合的最大相对...
文中设计一种具有交扣叉指结构和等电位隔离电极的新型叉指电容,建立了新型叉指电容的表面电容通用解析模型,并进行了实验验证。结果表明:表面电容解析模型的理论计算值与实际测量总电容值之间存在高度的线性相关性,线性拟合的最大相对偏差为0.34%;新型叉指电容在1 kHz~1 MHz频率范围内实测电容值的相对变化量稳定地小于基本结构叉指电容,最大变化量约为后者的91%;电容表面覆膜时的有效感知厚度随电极占空比的增加而增加,达到增速拐点之后敏感度随膜厚增加而显著减小。新型叉指电容的解析模型简洁、准确,设计制造方便。
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关键词
传感器
叉指电容
电场分布
等电位隔离
保角
变换
许瓦兹-克里斯多夫变换
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职称材料
题名
新型叉指电容设计建模与实验研究
被引量:
7
1
作者
唐忠林
杨建华
机构
陕西工业职业技术学院航空工程学院
西北工业大学自动化学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021年第10期16-22,共7页
基金
国家重点研发计划(2017YFC0211500)
陕西省教育厅2020年服务地方专项科学研究计划(20JC002)
陕西工业职业技术学院2019年自然科学类重点项目(ZK19-02)。
文摘
文中设计一种具有交扣叉指结构和等电位隔离电极的新型叉指电容,建立了新型叉指电容的表面电容通用解析模型,并进行了实验验证。结果表明:表面电容解析模型的理论计算值与实际测量总电容值之间存在高度的线性相关性,线性拟合的最大相对偏差为0.34%;新型叉指电容在1 kHz~1 MHz频率范围内实测电容值的相对变化量稳定地小于基本结构叉指电容,最大变化量约为后者的91%;电容表面覆膜时的有效感知厚度随电极占空比的增加而增加,达到增速拐点之后敏感度随膜厚增加而显著减小。新型叉指电容的解析模型简洁、准确,设计制造方便。
关键词
传感器
叉指电容
电场分布
等电位隔离
保角
变换
许瓦兹-克里斯多夫变换
Keywords
sensor
interdigital capacitor
electric field distribution
equipotential isolation
conformal transformation
Schwarz⁃Christoffel transformation
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型叉指电容设计建模与实验研究
唐忠林
杨建华
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021
7
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