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一种高端芯片厂洁净室设计提案构想介绍
被引量:
1
1
作者
杨政谕
《洁净与空调技术》
2014年第2期94-98,共5页
从高端芯片厂工艺需求与污染控制的角度出发,检视目前芯片厂洁净室的设计概念后,提出另外一种洁净室设计的提案构想,以为业界参考。
关键词
芯片厂
洁净室
设计提案构想
下载PDF
职称材料
一种LTPS面板厂建厂设计提案构想介绍
2
作者
杨政谕
《洁净与空调技术》
2014年第3期42-45,共4页
从工艺需求、成本、工期与污染控制的角度出发,检视目前面板厂建厂的设计概念后,提出另外一种LTPS建厂设计的提案构想,以为业界参考。
关键词
面板厂
低温多晶硅(LTPS)
建厂
设计提案构想
下载PDF
职称材料
题名
一种高端芯片厂洁净室设计提案构想介绍
被引量:
1
1
作者
杨政谕
机构
亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司
出处
《洁净与空调技术》
2014年第2期94-98,共5页
文摘
从高端芯片厂工艺需求与污染控制的角度出发,检视目前芯片厂洁净室的设计概念后,提出另外一种洁净室设计的提案构想,以为业界参考。
关键词
芯片厂
洁净室
设计提案构想
Keywords
Semiconductor manufacturing
Cleanroom
Design proposal
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
一种LTPS面板厂建厂设计提案构想介绍
2
作者
杨政谕
机构
亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司
出处
《洁净与空调技术》
2014年第3期42-45,共4页
文摘
从工艺需求、成本、工期与污染控制的角度出发,检视目前面板厂建厂的设计概念后,提出另外一种LTPS建厂设计的提案构想,以为业界参考。
关键词
面板厂
低温多晶硅(LTPS)
建厂
设计提案构想
Keywords
FPD Plant
LTPS
Plant Construction
Design proposal
分类号
TB491 [一般工业技术]
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1
一种高端芯片厂洁净室设计提案构想介绍
杨政谕
《洁净与空调技术》
2014
1
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职称材料
2
一种LTPS面板厂建厂设计提案构想介绍
杨政谕
《洁净与空调技术》
2014
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