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一种高端芯片厂洁净室设计提案构想介绍 被引量:1
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作者 杨政谕 《洁净与空调技术》 2014年第2期94-98,共5页
从高端芯片厂工艺需求与污染控制的角度出发,检视目前芯片厂洁净室的设计概念后,提出另外一种洁净室设计的提案构想,以为业界参考。
关键词 芯片厂 洁净室 设计提案构想
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一种LTPS面板厂建厂设计提案构想介绍
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作者 杨政谕 《洁净与空调技术》 2014年第3期42-45,共4页
从工艺需求、成本、工期与污染控制的角度出发,检视目前面板厂建厂的设计概念后,提出另外一种LTPS建厂设计的提案构想,以为业界参考。
关键词 面板厂 低温多晶硅(LTPS) 建厂 设计提案构想
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