直线度误差分离方法的误差分析

本文在研究精密和超精密加工技术的发展对直线度误差分离技术所提出的新要求的基础上 ,定量分析了传感器初始对准误差、忽略摆角误差和传感器漂移特性差异在时域和频域直线度误差分离方法中造成的误差 ,同时指出了频域方法中权系数对测量误差的放大作用。并讨论了一些消除误差的方法。

直线度误差分离方法的误差分析

在研究精密和超精密加工技术的发展对直线度误差分离技术所提出的新要求的基础上 ,定量分析了传感器初始对准误差 ,忽略摆角误差和传感器漂移特性差异在时域和频域直线度误差分离方法中造成的误差 ,同时指出了频域方法中权系数对测量误差的放大作用。并讨论了一些消除误差的方法。最后由此得出两点法与三点法相结合的组合方法是最适用于超精密直线度测量的误差分离方法的结论。

直线度误差组合分离方法及其误差分析

在分析了精密和超精密加工技术的发展对直线度误差分离技术所提出的新要求的基础上，介绍了为满足这些要求而发展的时域逐次两点法、三点法、精密逐次三点法、广义两点法以及频域方法，从数据融合和信息提取角度解释了方法的发展趋势，并提出了ｎ 阶误差分离模型。同时结合对这些方法的误差分析，提出了一种三次数据融合的时域直线度误差组合分离方法。这种方法以两点法为主，结合了广义两点法和时域三点法，使用三点法分离出的摆角补偿两点法的分离结果，使用广义两点法提供各组两点法分离结果之间的相对位置关系。提高了测量精度，对传感器的初始对准没有严格要求，避免了传感器初始对准误差的非线性累积和两点法中的摆角误差，可以满足超精密直线度测量的要求。

基于球盘的转台多自由度几何误差测量方法

转台作为数控机床及精密测量仪器的关键部件之一,可以将零部件移动至合适的位置,实现更高效的加工及测量任务,其自身的精度尤为重要。本文基于“three-rosette method”原理,提出一种基于球盘的转台多自由度几何误差优化测量方法,详细阐述了该方法的测量原理、转台几何误差的分离与解算方法。研制了圆形球盘,并在三坐标测量机的转台上开展了测量实验,实验结果表明采用12个标准球与优化后的6个标准球的测量结果基本一致,转台平移误差绝对差值不大于0.13μm,转角误差绝对差值不大于0.25″。最后,通过自准直仪装置测量该转台的分度误差,并与基于球盘的测量结果进行对比分析,结果表明上述不同方法得到的测量结果绝对差值不大于3.9″,验证了基于球盘的转台多自由度几何误差测量方法的准确性。

生物、生理及仿生光学

O438 97010694视觉检测系统定位误差分离方法=The separatingmethod for the positioning errors of the visualinspection system[刊,中]/张晓霞,段发阶,叶声华,王春和(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室.天津(300072))∥光电工程.—1996,23(3).—6-11.