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回转类精密刀具制造用芯轴定位系统及周期误差移相修正研究
1
作者 杜其明 骆明涛 杜庆祝 《工具技术》 2009年第12期37-39,共3页
针对齿轮滚刀这类精密回转刀具制造中,对单项误差和总误差影响极大的关键工艺系统—芯轴—顶尖的接触变形进行了分析,生产实际和分析表明回转刀具的有些误差呈周期规律,对周期性误差进行分解,初步探讨了消减低频误差分量的方法。
关键词 滚刀 芯轴-顶尖定位系统 周期误差移相修正
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基于误差函数相位偏移的电场式时栅角位移传感器自标定
2
作者 于治成 黎自豪 +2 位作者 蒲红吉 吴昶亮 展丙男 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第18期2803-2813,共11页
比对标定对于传感器测量精度的保持和提升具有重要意义,但其易受现场环境限制,且成本昂贵。电场式时栅精度不断刷新,寻找外部参考基准也变得日益困难。针对这一难题,提出了以圆周封闭原则为基准,利用傅里叶级数的平移定律,将电场式时栅... 比对标定对于传感器测量精度的保持和提升具有重要意义,但其易受现场环境限制,且成本昂贵。电场式时栅精度不断刷新,寻找外部参考基准也变得日益困难。针对这一难题,提出了以圆周封闭原则为基准,利用傅里叶级数的平移定律,将电场式时栅的误差序列值以2π/n角位移值进行移相,利用具有不同移相次数的误差序列值进行频谱分析,互相补偿缺失的谐波分量,最终利用各次谐波分量重构传感器误差函数的自标定方法。并据此设计、搭建了相应的自标定实验平台。实验结果表明,该自标定方法对于电场式时栅角位移传感器中所包含的周期性误差补偿效果显著。对极内,使用该自标定方法与用光栅作为参考基准所获得的标定精度基本相当,两者误差为0.05",对极内误差下降67%;整周范围内,两者误差为0.15",整周误差下降80%。该自标定方法相比于传统的比对标定法在效率、应用范围及标定成本方面均拥有显著优势。 展开更多
关键词 电场式 角位传感器 自标定 误差移相 谐波分量
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斐索型球面干涉仪移相误差的探讨 被引量:5
3
作者 黄深旺 陈磊 +1 位作者 陈进榜 朱日宏 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第10期883-888,共6页
本文对斐索型球面干涉仪的移相原理误差进行了理论推导和计算;应用移相干涉术的三步法和五步法,分析和比较了球面移相误差对波面复原精度的影响,并给出了有关数据和曲线。最后,提出了几种减小球面测量误差的措施。
关键词 误差 波面复原误差 三步法 干涉仪
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一种基于移相误差估计的5步移相算法 被引量:2
4
作者 黄文宇 龚建伟 陆际联 《光学技术》 CAS CSCD 2000年第6期565-567,共3页
移相误差是用移相法进行相位测量的主要误差。本文提出一种 5步移相算法 ,分两步进行相位计算 ,首先估计实际步进移相的线性移相误差 ,然后再利用此移相误差估计值计算相位分布。移相误差估计公式和相位计算公式简洁 ,算法简单易行 ,对... 移相误差是用移相法进行相位测量的主要误差。本文提出一种 5步移相算法 ,分两步进行相位计算 ,首先估计实际步进移相的线性移相误差 ,然后再利用此移相误差估计值计算相位分布。移相误差估计公式和相位计算公式简洁 ,算法简单易行 ,对线性移相误差和二次谐波的敏感度低 ,可基本消除线性移相误差对解调相位的影响。对本文提出的算法进行了仿真研究 ,同时给出了 Hariharan 5步算法、Surrel 6步最小算法的仿真结果。结果表明 :本算法明显优于以上两种算法 ,可基本消除线性移相误差引起的相位偏移。本算法适用于作等步移相的相位测量或移相的标定。 展开更多
关键词 算法 光学测量 位测量 误差 误差估计
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空间移相干涉仪的移相误差分析和测试
5
作者 左芬 刘兆栋 陈磊 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S2期76-81,共6页
分析研究了一种基于二维正交光栅分光的空间移相干涉仪的移相性能,指出移相器偏振片组中偏振单元的方位角偏差将直接产生2倍的移相误差,同时干涉图的空间一致性失调也会产生一定的移相误差.在根据原理方案搭建的实验系统中,分别采用测量... 分析研究了一种基于二维正交光栅分光的空间移相干涉仪的移相性能,指出移相器偏振片组中偏振单元的方位角偏差将直接产生2倍的移相误差,同时干涉图的空间一致性失调也会产生一定的移相误差.在根据原理方案搭建的实验系统中,分别采用测量4幅干涉图的对应消光位置法,以及作出干涉图同一行的光强拟合曲线之间的李萨茹图法,来测量出干涉图之间的实际移相量.结果表明,实验系统中经过空间一致性校准的干涉图之间的移相误差在±1.2°以内. 展开更多
关键词 干涉测量 空间 误差
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移相干涉中移相误差测量与补偿
6
作者 朱振宇 傅星 +2 位作者 王大江 曹航 李华丰 《计测技术》 2011年第3期20-23,共4页
移相干涉测量中对移相器的移相误差进行测量与补偿是提高该测量方法准确度的有效手段。通过研究移相干涉移相误差对测量结果的影响,提出了测量移相器工作时位移与角度变化的方法,建立了相应的实验测量装置,实现了移相器的位移及角度变... 移相干涉测量中对移相器的移相误差进行测量与补偿是提高该测量方法准确度的有效手段。通过研究移相干涉移相误差对测量结果的影响,提出了测量移相器工作时位移与角度变化的方法,建立了相应的实验测量装置,实现了移相器的位移及角度变化的测量。根据移相器中位移与角度的数学关系完成了移相误差的补偿,修正后的移相效果在移相干涉仪中采用了整周期移相干涉图灰度差值的方法进行了验证。 展开更多
关键词 干涉技术 误差 测量 图像处理
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用相位计精确测量移相误差的方法
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作者 张文海 《微电机》 北大核心 1999年第5期32-34,59,共4页
介绍采用定角度法实现用普通相位计精确测量移相误差。
关键词 误差 测量 位计 电感
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白光显微干涉三维形貌测量中的移相误差校正方法 被引量:9
8
作者 张超 袁群 +3 位作者 张佳乐 冀翼 高志山 闫钧华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第7期331-338,共8页
白光显微干涉术通过驱动干涉显微物镜垂直扫描移相,采集低相干干涉图序列,定位干涉包络中的零光程差位置,获取待测表面的三维形貌。微观形貌的计算由获取粗略形貌的垂直扫描(VSI)算法和获取精细形貌的移相(PSI)算法两部分组成。通常情况... 白光显微干涉术通过驱动干涉显微物镜垂直扫描移相,采集低相干干涉图序列,定位干涉包络中的零光程差位置,获取待测表面的三维形貌。微观形貌的计算由获取粗略形貌的垂直扫描(VSI)算法和获取精细形貌的移相(PSI)算法两部分组成。通常情况下,设置垂直扫描移相的步长为八分之一中心波长,但移相器误差和干涉显微物镜数值孔径效应等都会使得移相量偏离π/2。文中采用基于对比度变化重心提取的VSI算法,4M幅法和7幅法两种PSI算法,分别讨论了两种类型移相误差对形貌计算的影响。理论和数值分析结果表明,在宽带光作用下,7幅法仍对移相误差不敏感,4M幅法产生的精细相位误差形式恰好与干涉物镜数值孔径效应对条纹展宽的影响相一致,在从精细相位转换为精细形貌时相互抵消。因而,采用基于对比度变化重心提取的VSI算法和4M幅PSI算法计算形貌数据,干涉物镜数值孔径效应造成的移相误差无影响,移相器误差造成的形貌复原误差可以通过预先测量已知高度的标准台阶进行标定去除。应用上述移相误差校正方法测量了高度为460 nm的台阶,形貌测试结果正确且鲁棒。 展开更多
关键词 误差 台阶 形貌测量 白光显微干涉
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基于线性移相误差的N步移相算法 被引量:2
9
作者 张少丹 李琳 《电子科技》 2016年第2期30-33,共4页
移相误差是影响移相干涉术测量精度的主要来源,针对移相器的线性移相误差,文中提出一种新型的移相干涉术算法-N步移相算法。该算法通过最小二乘法估计出移相器做等步移相时的实际移相相位,利用上述估计值代入相位计算公式获得被测物体... 移相误差是影响移相干涉术测量精度的主要来源,针对移相器的线性移相误差,文中提出一种新型的移相干涉术算法-N步移相算法。该算法通过最小二乘法估计出移相器做等步移相时的实际移相相位,利用上述估计值代入相位计算公式获得被测物体的相位分布。同时对该算法进行仿真研究,其结果表明,算法能准确地估计移相相位,获得被测物体的精确相位分布,并可实现λ/100的高精度测量,且在测量精度上明显优于其他算法。 展开更多
关键词 线性误差 干涉术 位分布
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相位偏移干涉测量波面的一种新算法 被引量:1
10
作者 朱振宇 严家骅 李百源 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期282-286,291,共6页
本文分析了利用相位偏移干涉的相位计算方法对测量结果准确程度的影响 ,提出了一种利用相位偏移干涉原理测量波面的新算法 (四幅改进算法 )。考虑到移相误差是导致相位偏移干涉测量法产生误差的主要因素 ,本文着重讨论相位偏移干涉测量... 本文分析了利用相位偏移干涉的相位计算方法对测量结果准确程度的影响 ,提出了一种利用相位偏移干涉原理测量波面的新算法 (四幅改进算法 )。考虑到移相误差是导致相位偏移干涉测量法产生误差的主要因素 ,本文着重讨论相位偏移干涉测量算法对移相误差的敏感程度。根据对实验测试机构所进行的测量与分析 ,以实际的数据为基础得出在相位偏移干涉测量中新算法的优秀品质。该新算法对移相误差有良好的抑制作用 。 展开更多
关键词 位偏干涉技术 平面测量 误差 四幅改进算法
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PZT移相和CCD非线性对高精度球面面形检测的影响 被引量:2
11
作者 刘勇 沈亦兵 彭建华 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2116-2120,2127,共6页
为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测器(CCD)非线性误差进行探讨.通过理论分析和数值模拟的方法分别对PZT移相误差、CCD非线性误差进行具体... 为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测器(CCD)非线性误差进行探讨.通过理论分析和数值模拟的方法分别对PZT移相误差、CCD非线性误差进行具体分析,着重研究PZT移相误差和CCD非线性误差的综合影响.由五步移相算法,推导得出PZT和CCD的综合误差公式,对影响综合误差大小的主要因素如CCD二次非线性系数、条纹对比度和被检面曲率半径与口径的比值等进行分析.结果表明,提出的控制PZT和CCD综合误差影响的准则和相应的减小误差影响的方法,可以提高球面面形的检测精度. 展开更多
关键词 菲索干涉仪 PZT误差 CCD非线性误差 球面面形
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对移相误差不敏感的四帧相位算法 被引量:6
12
作者 惠梅 王东生 +2 位作者 邓年茂 李庆祥 徐毓娴 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期1017-1019,共3页
应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时,相移器的移相误差直接影响测量精度。在四帧干涉图情形下,推导出了对移相误差不敏感的相位解算方法。算法将相移误差因子作为中间可代换变量,它的大小随机变化不影响相位计算结果,即相位计算式与... 应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时,相移器的移相误差直接影响测量精度。在四帧干涉图情形下,推导出了对移相误差不敏感的相位解算方法。算法将相移误差因子作为中间可代换变量,它的大小随机变化不影响相位计算结果,即相位计算式与相移误差因子无关。对标准正弦样板进行的实验验证表明,该算法有效地抑制了移相误差对形貌测量的影响,进一步提高了表面微观形貌的测量精度和测量可靠性、提高了测量系统的整体性能指标。 展开更多
关键词 干涉术 表面形貌测量 误差 四帧位算法 检测原理 位提取算法
原文传递
动态干涉仪干涉图位置配准及移相误差校正 被引量:3
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作者 郑东晖 陈磊 +3 位作者 李金鹏 朱文华 李建欣 韩志刚 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期212-220,共9页
为抑制动态干涉仪系统中存在的干涉图空间位置匹配误差以及移相误差,采用相位相关算法和载频交叠重构干涉术,前者以光斑边缘为匹配特征,通过配准测试光斑,实现对4幅移相干涉图在空间位置上的像素级配准;后者按列交叠重构4幅载频移相干涉... 为抑制动态干涉仪系统中存在的干涉图空间位置匹配误差以及移相误差,采用相位相关算法和载频交叠重构干涉术,前者以光斑边缘为匹配特征,通过配准测试光斑,实现对4幅移相干涉图在空间位置上的像素级配准;后者按列交叠重构4幅载频移相干涉图,实现相位谱与误差谱在傅里叶频谱中相分离,滤取相位谱即可抑制移相误差对测量结果的影响。实验结果显示,两种方法均可以有效抑制干涉图的位置配准误差以及移相量误差,其结果与干涉仪结果相吻合,均方根值和峰谷值分别相差0.0057λ和0.0235λ。相位相关算法不受光强畸变等因素的影响,而载频交叠重构干涉术可以同时抑制由移相器件造成的两倍频相位误差和由光强畸变引入的一倍频相位误差。 展开更多
关键词 物理光学 动态干涉 像素配准 线性载频 误差
原文传递
用特征多项式构造相移干涉相位提取算式 被引量:6
14
作者 惠梅 牛憨笨 +2 位作者 李庆祥 王东生 徐毓娴 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期874-878,共5页
用相移干涉术测量物体表面形貌时 ,各种误差因素特别是相移器移相误差的影响使得表面形貌的测量偏离了实际值 ,甚至会产生形貌失真的现象。采用傅里叶分析的方法对相位提取算式作了理论分析 ,并根据特征多项式设计分析理论构造了新的、... 用相移干涉术测量物体表面形貌时 ,各种误差因素特别是相移器移相误差的影响使得表面形貌的测量偏离了实际值 ,甚至会产生形貌失真的现象。采用傅里叶分析的方法对相位提取算式作了理论分析 ,并根据特征多项式设计分析理论构造了新的、对移相误差不敏感的相位提取算式。经实验验证 ,该算法有效地提高了相移干涉仪测量表面形貌的Ra 值 ,重复测量精度达 5倍以上 。 展开更多
关键词 特征多项式 干涉术 位提取算式 光学测量 傅里叶分析 误差
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移相术中相移算法的窗函数整数近似方法分析 被引量:2
15
作者 魏豪明 邢廷文 冯建美 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2009年第10期100-105,共6页
用离散傅里叶分析的方法将相移过程描述为频谱域滤波的过程,阐明了相移算法的窗函数整数近似法原理。由于相移的有限性会带来频谱泄露的问题,提出了好的移相算法窗函数应该满足主瓣窄、旁瓣小的观点,并给出了根据窗函数整数近似方法设... 用离散傅里叶分析的方法将相移过程描述为频谱域滤波的过程,阐明了相移算法的窗函数整数近似法原理。由于相移的有限性会带来频谱泄露的问题,提出了好的移相算法窗函数应该满足主瓣窄、旁瓣小的观点,并给出了根据窗函数整数近似方法设计任意移相间距和任意移相步数移相算法的流程。选择矩形窗、三角窗、hanning窗和blackman窗生成4种11步移相算法,对振动误差和相移误差的分析验证了旁瓣小的hanning窗和blackman窗生成的算法对误差的灵敏度要小;再选择hanning窗生成了移相间距为π/2的5,11,15,39,51,76和101步7种移相算法,仿真验证了步数越多主瓣越小,对振动抑制能力越好,但需要更高的微位移器移动精度来获得有效的干涉条纹。在满足干涉条纹质量的前提下,步数多的移相算法对移相误差的抑制能力越好。最后模拟实验环境,验证了算法的性能。 展开更多
关键词 光学测量 算法 振动误差 误差 窗函数
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一种实用同频干扰抑制器
16
作者 曾祥书 《电视技术》 北大核心 1999年第8期44-46,共3页
提出了三信号叠加同频干扰抑制法,通过理论分析和实践表明能有效地提高抑制深度,展宽移相角度的误差范围,从而可大大改善强干扰场合下的抑制效果和提高长时间工作的可靠性。
关键词 同频干扰抑制 三信号叠加 误差 电视接收机
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眼镜、放大镜、显微镜及显微术
17
《中国光学》 EI CAS 1996年第4期95-95,共1页
TH742.5 96042765相移干涉显微镜中移相误差分析=Analysis ofphase-shifting error in phase-shifting in- terferometric microscope[刊,中]/丁志华,王桂华,王之江(中科院上海光机所.上海(201800))∥计量学报.—1995,16(4).
关键词 干涉显微镜 误差分析 计量学 检测精度 显微术 中科院 误差 放大镜 上海
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Time series prediction of mining subsidence based on a SVM 被引量:8
18
作者 Li Peixian Tan Zhixiang +1 位作者 Yan Lili Deng Kazhong 《Mining Science and Technology》 EI CAS 2011年第4期557-562,共6页
In order to study dynamic laws of surface movements over coal mines due to mining activities,a dynamic prediction model of surface movements was established,based on the theory of support vector machines(SVM) and time... In order to study dynamic laws of surface movements over coal mines due to mining activities,a dynamic prediction model of surface movements was established,based on the theory of support vector machines(SVM) and times-series analysis.An engineering application was used to verify the correctness of the model.Measurements from observation stations were analyzed and processed to obtain equal-time interval surface movement data and subjected to tests of stationary,zero means and normality.Then the data were used to train the SVM model.A time series model was established to predict mining subsidence by rational choices of embedding dimensions and SVM parameters.MAPE and WIA were used as indicators to evaluate the accuracy of the model and for generalization performance.In the end,the model was used to predict future surface movements.Data from observation stations in Huaibei coal mining area were used as an example.The results show that the maximum absolute error of subsidence is 9 mm,the maximum relative error 1.5%,the maximum absolute error of displacement 7 mm and the maximum relative error 1.8%.The accuracy and reliability of the model meet the requirements of on-site engineering.The results of the study provide a new approach to investigate the dynamics of surface movements. 展开更多
关键词 Support vector machine Mining subsidence Time series Dynamic prediction
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想想看
19
《电世界》 2015年第10期56-56,共1页
1.一只小容量双绕组单相变压器,输入220 V时测得空载输出电压为20 V。为什么串接成升压自耦变压器后,输出电压却会低于240 V?(勋)2.为什么有的感应透热炉要在两种频率下工作?(刘)3.普通电动机起动很容易,为什么步进电动机只能在... 1.一只小容量双绕组单相变压器,输入220 V时测得空载输出电压为20 V。为什么串接成升压自耦变压器后,输出电压却会低于240 V?(勋)2.为什么有的感应透热炉要在两种频率下工作?(刘)3.普通电动机起动很容易,为什么步进电动机只能在低频下起动?(张)4.为什么按产品样本选用移相参数R和C,感应移相器的移相误差却很大?(文) 展开更多
关键词 感应透热炉 电动机起动 输出电压 变压器 自耦变压器 步进电动机 产品样本 误差
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Performance of M-QAM, M-DPSK and M-PSK with MRC diversity in a Nakagami-m fading channel
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作者 Alam S.M.Shamsul Alam Choi GoangSeog 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第4期1347-1352,共6页
The nature of a wireless communication channel is very unpredictable. To design a good communication link, it is required to know the statistical model of the channel accurately. The average symbol error probability(A... The nature of a wireless communication channel is very unpredictable. To design a good communication link, it is required to know the statistical model of the channel accurately. The average symbol error probability(ASER) was analyzed for different modulation schemes. A unified analytical framework was presented to obtain closed-form solutions for calculating the ASER of M-ary differential phase-shift keying(M-DPSK), coherent M-ary phase-shift keying(M-PSK), and quadrature amplitude modulation(QAM) over single or multiple Nakagami-m fading channels. Moreover, the ASER was estimated and evaluated by using the maximal ratio-combining(MRC) diversity technique. Simulation results show that an error rate of the fading channel typically depends on Nakagami parameters(m), space diversity(N), and symbol rate(M). A comparison between M-PSK, M-DPSK, and M-QAM modulation schemes was shown, and the results prove that M-ary QAM(M-QAM) demonstrates better performance compared to M-DPSK and M-PSK under all fading and non-fading conditions. 展开更多
关键词 M-ary differential phase-shift keying(M-DPSK) M-ary phase shift keying(M-PSK) Nakagami-m fading channel probability density function(PDF) symbol error rate(SER) M-ary quadrature amplitude modulation(M-QAM)
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