离子束溅射制备“日盲”紫外诱导透射滤光片

对"日盲"紫外诱导透射滤光片进行了理论设计与分析,并分别优化了离子束溅射法沉积ZrO2、SiO2和Al薄膜的工艺。利用反射与透射光谱反演获得了ZrO2和SiO2薄膜的光学常数,并由JGS1/SiO2/Al/SiO2/air(SAS)样品的变角度椭偏光谱反演精确获得了Al薄膜的光学常数。在此基础上,采用离子束溅射沉积方法并利用上述3种薄膜材料优化制备了"日盲"紫外诱导透射滤光片,测量了滤光片的光谱性能。光谱性能分析表明,滤光片的峰值波长位于264nm,峰值透过率大于60.0%,透过峰带宽(FWHM)约为13nm,在300～350nm波段的截止度达到了2.6OD。研究认为制约离子束溅射制备"日盲"紫外诱导透射滤光片性能的主要因素是Al金属膜的溅射沉积速率以及沉积Al膜时腔体中残余的O2含量。

依势透射率的概念设计诱导透射滤光片

依势透射率的概念从理上确定了诱导透射滤光片金属膜层的厚度，免去了传统方法中繁锁的修正工作。再根据特征矩阵的概念进行诱导透射滤光片的精确设计。该方法的间隔层适合任意材料。文中还对带宽的压缩和背景的抑制进行了讨论。

提高诱导透射滤光片性能的改进设计

提出了一种改进的诱导透射滤光片的设计方法,使对于任意厚度的金属,均能得到最佳匹配的出射导纳.采用两个非四分之一波长层来代替传统设计方法中的单间隔层,其厚度可以通过导纳图解得.通过改变两个间隔层的材料,可以对滤光片的带宽进行调整.与传统方法相比,用改进的方法设计的滤光片达到了最大势透射率,具有更高的峰值透射率.

导纳轨迹图解方法在诱导透射滤光片设计中的应用

诱导透射滤光片设计中,金属层厚度的选择是很重要的环节。应用导纳轨迹图解方法,可以确定能诱导出滤光片最大透射率的金属层厚度。与用势透射率概念设计方法相比,采用该方法确定的金属层厚度,可使所设计制作的诱导透射滤光片的峰值透射率更高。实际设计中,可以以此厚度为基础进行调整,使膜系满足设计要求。

多腔诱导透射滤光片缺陷的成因分析及抑制

多腔诱导透射滤光片制备后出现的缺陷,严重地影响了薄膜样品的品质以及环境稳定性。实验用热蒸发的方法在室温浮法玻璃基底上制备了四腔诱导透射滤光片。用光学显微镜观测了缺陷的形貌,将缺陷分为不同类型的点状缺陷和线状缺陷,并结合光学轮廓仪和电子能量散射谱仪分析了缺陷的深度以及元素成份。分析结果显示,基片污染、喷溅以及应力、亚表面缺陷等综合因素是诱发缺陷产生的主要原因。为减少缺陷数量以及其尺寸和深度,实验验证了基底酸洗工艺对缺陷的抑制效果,证明了酸洗工艺具有可行性。最后结合缺陷产生的可能原因提出了制备工艺改进措施,已经取得了较好的成果。