非结构化环境下物体三维位移调幅超声波检测研究

芯片制造并行机构作业端、水下潜器和深海采矿船等在非结构化环境下采用传统测量方法难以检测其运动。提出了调幅超声波信标超短基线并采用连续波检测位移,减小了检测误差。用希尔伯特变换解决检测的关键参数调制波有效程差的估计;建立了模拟检测系统,并进行了实验。实验结果表明该方法的测量误差在基阵平面内为±3mm。该方法也适用于检测深海采矿船升沉运动。