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混合集成电路激光调阻技术 被引量:2
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作者 朱明锋 王洋 《电子制作》 2018年第9期68-70,32,共4页
文本从混合集成电路用激光调阻系统、切割图形、测试方法、编程方法等方面介绍激光调阻技术。
关键词 激光调阻技术 混合集成电路
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厚膜技术(四)—调阻技术
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作者 王行乾 《上海微电子技术和应用》 1995年第4期41-46,共6页
关键词 厚膜技术 混合集成电路 调阻技术
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片式合金箔电阻高精度加工技术的研究
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作者 史书刚 张秀 +1 位作者 陈天磊 周瑞山 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2018年第12期83-86,共4页
为了实现片式合金箔电阻器阻值超高精度研制的目的,采用了电阻图形合理的设计与实现,并结合电阻图形高精度加工工艺的技术方法。该技术方法中引入独创的数字化调阻技术,并采用高精度刻蚀的手段进行工艺实现。结果表明,通过技术方法的实... 为了实现片式合金箔电阻器阻值超高精度研制的目的,采用了电阻图形合理的设计与实现,并结合电阻图形高精度加工工艺的技术方法。该技术方法中引入独创的数字化调阻技术,并采用高精度刻蚀的手段进行工艺实现。结果表明,通过技术方法的实施,不仅有效提高了合金箔电阻器的精度等级,还提升了合金箔电阻器的自动化生产工艺水平。 展开更多
关键词 合金箔电 高精度 图形 数字调阻技术 高精度刻蚀
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