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基于场聚焦的E-形谐振传感器对热障涂层的厚度检测定位
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作者 吴小华 杨晓庆 《信息技术与信息化》 2024年第6期164-168,共5页
提出一种基于场聚焦的E-形谐振传感器,可以实现对热障涂层陶瓷层厚度的检测和定位。通过CST软件对所设计的E-形谐振传感器进行了仿真分析,重点验证了传感器对热障涂层厚度变化(0~0.5 mm)的响应特性,并通过参数优化确保了传感器设计的有... 提出一种基于场聚焦的E-形谐振传感器,可以实现对热障涂层陶瓷层厚度的检测和定位。通过CST软件对所设计的E-形谐振传感器进行了仿真分析,重点验证了传感器对热障涂层厚度变化(0~0.5 mm)的响应特性,并通过参数优化确保了传感器设计的有效性和实用性。通过仿真结果,发现传感器的谐振频率随热障涂层厚度的变化而发生偏移,每增加0.1 mm,频偏在100 MHz左右,证实了其测量能力。通过实验,验证了传感器对热障涂层厚度检测定位的能力。实验结果与仿真分析一致,再次证明了该传感器设计的可行性和高灵敏度特点。同时通过验证实验发现检测误差可达0.8%,具有优异的检测精度。 展开更多
关键词 谐振传感器 微波 无损检测 热障涂层
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基于LC谐振传感器的互感耦合系统阻抗特性 被引量:7
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作者 葛冰儿 梁庭 +3 位作者 洪应平 李晨 王伟 熊继军 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第6期360-365,385,共7页
通过建立LC谐振传感器的互感耦合系统的电路模型,给出了测试端输入阻抗的幅值、实部、虚部及相位与传感器谐振频率的关系,并用MATLAB软件进行了仿真分析。仿真结果表明,当传感器与检测线圈接近发生谐振时,阻抗各分量发生突变。制备了环... 通过建立LC谐振传感器的互感耦合系统的电路模型,给出了测试端输入阻抗的幅值、实部、虚部及相位与传感器谐振频率的关系,并用MATLAB软件进行了仿真分析。仿真结果表明,当传感器与检测线圈接近发生谐振时,阻抗各分量发生突变。制备了环氧树脂基底的传感器模拟结构,并通过改变传感器与检测线圈之间的距离,测试了传感器的谐振频率。测试结果表明,阻抗相位测得的谐振频率受耦合系数的影响,测试时应调整传感器与检测线圈之间的距离来选择合适的耦合系数,以提高测量的精度,而其他阻抗分量测得的谐振频率基本不受耦合系数的影响。 展开更多
关键词 LC谐振传感器 互感耦合 阻抗 谐振频率 耦合系数
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LC谐振传感器的信号检测系统研究 被引量:5
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作者 张海瑞 彭旭锋 +4 位作者 梁庭 洪应平 曹群 郑庭丽 熊继军 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期503-509,共7页
根据LC谐振传感器互感耦合系统的理论模型,设计了一种LC谐振传感器信号检测系统。该系统包括模拟部分、数字部分以及解算方法。模拟部分是通过混频器提取谐振信息,再用低通滤波器(LPF)直流化输出信号以方便数据采集。数字部分是完成信... 根据LC谐振传感器互感耦合系统的理论模型,设计了一种LC谐振传感器信号检测系统。该系统包括模拟部分、数字部分以及解算方法。模拟部分是通过混频器提取谐振信息,再用低通滤波器(LPF)直流化输出信号以方便数据采集。数字部分是完成信号采集及传给上位机处理。解算方法是通过同步模拟部分的线性扫频源与数字部分的数据采集,实现从携带谐振信息的直流信号中获取谐振频率。实验结果表明:该系统能够完整获得LC谐振传感器的测试信号,其性能稳定,测量精度高,谐振频率测量误差小于3.5%。该系统有望运用于LC传感器信号无线测量的领域。 展开更多
关键词 LC谐振传感器 无线测量 谐振频率 混频器 LPF 信号采集
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光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展 被引量:4
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作者 吴浩扬 李炳乾 +1 位作者 朱长纯 刘君华 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期7-10,共4页
从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器,评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器的进展,并就该领域未来的发展作了展望。
关键词 硅微机械 谐振传感器 光激励 光拾取
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一种静电驱动微机械谐振传感器的接口电路及应用 被引量:4
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作者 孟瑞丽 刘恒 张宏群 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第5期90-93,共4页
针对静电驱动微机械谐振传感器接口动态电容的测量,文中介绍了一种读取接口电路,采用了高频方波对振动信号进行调制,模拟开关进行解调。以静电驱动的某真空封装微机械振动双框架陀螺为例,接口电路实验测试得到的波形与设计预期一致,并... 针对静电驱动微机械谐振传感器接口动态电容的测量,文中介绍了一种读取接口电路,采用了高频方波对振动信号进行调制,模拟开关进行解调。以静电驱动的某真空封装微机械振动双框架陀螺为例,接口电路实验测试得到的波形与设计预期一致,并利用接口电路和频率扫描方法成功测得微机械振动陀螺驱动模态谐振频率为13.552 k Hz,品质因数为1863。 展开更多
关键词 谐振传感器 接口电路 调制 解调 品质因数
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光纤光栅谐振传感器的理论与实验分析 被引量:2
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作者 张伟刚 开桂云 +3 位作者 盛秋琴 冯德军 刘志国 董孝义 《广西工学院学报》 CAS 2000年第4期21-25,共5页
利用微悬臂梁对光纤 Bragg光栅的振动传感特性进行了实验研究 ,其频率传感范围达到 2 .5 KHz,并给出了实验拟合曲线。研究表明 :光纤 Bragg光栅反射波长漂移的扫描平均值Δλ对微悬臂梁的谐振频率
关键词 光纤光栅 振动传感 微悬臂梁 谐振传感器 实验
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硅微谐振传感器微弱频率变化的提取新方法 被引量:2
7
作者 赵向阳 史百舟 刘君华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z2期57-58,91,共3页
由于硅微谐振传感器在感测压力、温度变化时存在频率变化较弱的特点 ,提高其灵敏度和测试分辨率显得尤为必要 ,所以提出利用系统从混沌状态到大周期状态转变时所表现出的共振锁频性质 ,进行了传感器微弱频率变化信号的仿真实验提取。将... 由于硅微谐振传感器在感测压力、温度变化时存在频率变化较弱的特点 ,提高其灵敏度和测试分辨率显得尤为必要 ,所以提出利用系统从混沌状态到大周期状态转变时所表现出的共振锁频性质 ,进行了传感器微弱频率变化信号的仿真实验提取。将带通采样和降采样应用到信号预处理 ,建立了利用混沌的测试系统 。 展开更多
关键词 硅微谐振传感器 混沌 共振锁频 柔性测量
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一种微机械谐振传感器的频率读出及分析方法 被引量:1
8
作者 刘恒 孙冬娇 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2013年第7期14-16,共3页
为了对微机械谐振传感器的振动信号频率进行读出及短期稳定度分析,文中以静电驱动的某微机械振动双框架陀螺为例,介绍了频率调制解调的接口信号读取方法,并利用频率计和软件插件对振动频率进行了采样,最后利用Al-lan方差分析了频率的短... 为了对微机械谐振传感器的振动信号频率进行读出及短期稳定度分析,文中以静电驱动的某微机械振动双框架陀螺为例,介绍了频率调制解调的接口信号读取方法,并利用频率计和软件插件对振动频率进行了采样,最后利用Al-lan方差分析了频率的短期稳定性。利用介绍方法测得实验室制作的微机械振动陀螺驱动模态谐振频率为13.552 kHz,7 min内频率偏差在±10 ppm(1 ppm=10-6)以内,稳定度达到应用要求。 展开更多
关键词 谐振传感器 频率 稳定度 艾伦方差
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一种双功能谐振传感器——谐振式质量流量/密度传感器 被引量:1
9
作者 樊尚春 刘广玉 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第2期30-35,共6页
详细地讨论了一种双功能谐振式质量流量/密度传感器的测量原理,为我国迅速研制成这种新型的谐振传感器提供了一定的理论依据。
关键词 质量流量 密度 谐振传感器
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谐振传感器在大温度变化条件下稳定振荡的计算机辅助设计
10
作者 赵向阳 史百舟 刘君 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2001年第6期20-22,共3页
在实验的基础上 ,利用Matlab对谐振传感器振荡电路进行仿真计算 ,提出了一谐振式传感器在大温度变化范围内 ( - 4 0~ 50℃ )稳定振荡的条件及实现方法。
关键词 谐振传感器 仿真 CAD 稳定振荡 加速度传感器
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基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究
11
作者 张昱 金心宇 +1 位作者 陈抗生 王跃林 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期380-383,共4页
本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式 ,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成... 本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式 ,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近 10 2 ~ 10 - 1 Pa,具有可靠性高。 展开更多
关键词 硅微机械谐振传感器 单片机 闭环测控 真空测量
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小波分析在光激光拾硅微谐振传感器微弱信号检测中的应用
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作者 张勇 刘君华 刘月明 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期342-346,共5页
光激光拾硅微谐振传感器在实际测量中光拾信号非常微弱 ,往往淹没在噪声中 ,无法识别其谐振频率。根据光拾信号与噪声的频率特性 ,采用小波多分辨分析方法将噪声与信号分离 ,并采用双频法识别系统 ,研究了采样频率与系统谐振频率的关系 ... 光激光拾硅微谐振传感器在实际测量中光拾信号非常微弱 ,往往淹没在噪声中 ,无法识别其谐振频率。根据光拾信号与噪声的频率特性 ,采用小波多分辨分析方法将噪声与信号分离 ,并采用双频法识别系统 ,研究了采样频率与系统谐振频率的关系 ,在两个最佳采样频率下达到准确识别谐振频率。 展开更多
关键词 光激光拾 硅微谐振传感器 消噪 多分辨分析 微弱信号检测 小波分析
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微结构谐振传感器
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作者 樊尚春 刘广玉 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第2期30-34,共5页
阐述了频率输出的新型谐振传感器的发展方向之一——微型化。评价性地论述了热激励硅谐振压力传感器和热激励谐振膜质量流量传感器。重点讨论了热激励的原理,特点等。指出我国应对传感器的这一发展趋势给予足够的重视。
关键词 谐振传感器 微结构 热激励
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一种微机械谐振传感器的驱动控制
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作者 刘恒 舒进华 +1 位作者 张玉 杨添熠 《信息技术》 2021年第11期25-30,37,共7页
微机械谐振式传感器广泛使用静电自激驱动,自激驱动反馈环路有非线性环和线性环,线性环路电路结构复杂,调节参数多,易引入噪声,影响传感器的分辨率。以微机械谐振式加速度计为研究对象,建立加速度计的数值仿真模型并采用静电自激驱动;... 微机械谐振式传感器广泛使用静电自激驱动,自激驱动反馈环路有非线性环和线性环,线性环路电路结构复杂,调节参数多,易引入噪声,影响传感器的分辨率。以微机械谐振式加速度计为研究对象,建立加速度计的数值仿真模型并采用静电自激驱动;反馈环路采用非线性环,并利用函数描述法分析传感器系统的稳定性。数值仿真实验表明:在封装品质因数大时,非线性反馈环构成的自激驱动电路需系统等效电路中线性环节和非线性环节满足三个条件,同时非线性部分的高阶谐波响应影响相位平衡,会造成系统谐振频率和振动幅度的偏差。 展开更多
关键词 微机械谐振传感器 自激振荡 非线反馈环 极限环 函数描述法
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微谐振传感器同频干扰的建模与消除 被引量:8
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作者 陈健 陈德勇 +3 位作者 王军波 杨苗苗 毋正伟 陈李 《测控技术》 CSCD 2006年第8期5-6,10,共3页
主要研究了静电激励/电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题,分析了几种干扰源,建立了同频干扰的电路等效模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,采用二次差分的方式消除同频干扰。
关键词 微机械电子系统 谐振传感器 同频干扰 双端激励/差分检测
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PVDF压电式谐振传感器在密度测量中的实验研究 被引量:3
16
作者 高福群 华云松 《光学仪器》 2012年第3期13-16,共4页
密度测量在现代生产生活中占有很重要的地位,因此研究出能够快速精确测量密度的方法会极大地改善生活和生产质量。现利用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜的压电效应和逆压电效应制成薄膜压电式谐振传感器,用于气体或液体的密度测量,从而得出... 密度测量在现代生产生活中占有很重要的地位,因此研究出能够快速精确测量密度的方法会极大地改善生活和生产质量。现利用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜的压电效应和逆压电效应制成薄膜压电式谐振传感器,用于气体或液体的密度测量,从而得出传感器谐振频率与被测气体和液体密度之间存在的关系。从实验和分析结果看,该谐振传感器可用于气体或液体的密度测量,且测量结果具有较高的分辨力。 展开更多
关键词 聚偏氟乙烯 谐振传感器 压电效应 逆压电效应
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晶体式谐振传感器的计设与应用
17
作者 陆汉权 朱镇华 《传感技术学报》 CAS CSCD 1993年第4期60-62,共3页
本文介绍一种稳定性很高且结构简单的晶体式谐振传感器的设计方法,以及与单片机δ031构成可测定介质型电容量的应用实例,由于传感器输出变量是频率,所以它的应用面很广.这一设计已用于粮食水份测定仪中.1
关键词 晶体式 谐振传感器 传感器 设计
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无源谐振传感器用于超声波局部放电的检测方法 被引量:3
18
作者 薛峰 徐卫东 刘勤锋 《电工技术》 2020年第4期42-44,54,共4页
超声波检测法广泛应用于电力设备的局部放电检测中,常见的超声波传感器在实际应用中所采集到的声波频率范围是固定的,而局部放电产生的声波频率在几十kHz到几百kHz范围内。基于此,设计一种无源LC谐振传感器用于超声波局部放电检测,包括... 超声波检测法广泛应用于电力设备的局部放电检测中,常见的超声波传感器在实际应用中所采集到的声波频率范围是固定的,而局部放电产生的声波频率在几十kHz到几百kHz范围内。基于此,设计一种无源LC谐振传感器用于超声波局部放电检测,包括对局部放电产生的高频声音信号的采集,再将采集到的高频信号转换为电信号进行测量计算。现场测试表明,采用该方法的局部放电检测具有抗电磁干扰能力强、检测频率范围可调、无需外接电源等优点,为现场局部放电检测提供了一种新的思路。 展开更多
关键词 局部放电 LC谐振传感器 在线检测 信号处理
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晶体式谐振传感器与单片机8031的接口设计
19
作者 朱镇华 陆汉权 《机电工程》 CAS 1992年第3期19-22,共4页
关键词 晶体式 谐振传感器 微机 接口设计
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多参数科氏力谐振传感器测量数学模型分析
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作者 李普良 刘泽晖 黄梦微 《工业仪表与自动化装置》 2019年第3期95-96,101,共3页
科氏力谐振传感器除能实现对流体质量流量进行精确测量外,还能对流体的密度、温度、体积流量及流体的黏度进行精确测定。该文主要对流体的质量流量、密度和黏度测量的数学模型进行分析,供此类传感器设计和应用时参考。
关键词 多参数测量 科氏力 谐振传感器 数学模型
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