重叠峰解卷积在能谱面分布中的新应用

为研究重叠峰解卷积技术对能谱面分布分析结果准确性的影响,以具有重叠峰的Ti-Ba材料为研究对象,对采用重叠峰解卷积技术前后的元素能谱面分布结果进行比较。实验结果表明:未采用谱峰解卷积时,Ti元素和Ba元素的能谱面分布基本相同,但元素定量分析结果显示Ti和Ba元素并非分布在相同的区域,即未采用谱峰解卷积的Ti-Ba元素能谱面分布分析有误;而采用谱峰解卷积技术后,可以清晰地观察Ti元素和Ba元素分布在不同的区域。由此可知,对于具有重叠峰的元素能谱面分布(重叠峰元素未形成化合物),可采用重叠峰解卷积来解决元素的谱峰重叠问题。