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扫描质子微探针的安装调试及象差控制
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作者 毛羽 朱卫华 +2 位作者 王志山 陈汉民 徐建波 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1993年第9期526-530,共5页
讨论了扫描质子微探针(SPM)安装调试的方法,通过象差调整,提高了SPM系统的空间分辨率。该系统可提供空间分辨率为2-3μm、束流强度为100pA的3MeV H^+束和2MeV He^+束。
关键词 质子微探针 象差控制 安装 SPM
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