光刻镜头象质测试方法

提出了一种用于测量紫外光或深紫外光光斑位置的新方法，并将这种方法同传统的哈特曼检验法结合起来形成了一种测试光刻镜头象质的新方法。这种方法测量原理简单、测量精度高。在不采取隔振和恒温措施的实验室环境下，横向象差的测量精度为－１．２～＋１．１μｍ，重复测量精度为－１．７μｍ＜３σ＜１．７μｍ。

激光束波面质量的实时检测与数据处理技术

利用CCD成象技术研制了一种小光束质量的实时检测系统,从理论和实验上进行了分析研究。首次完成了对半导体激光束的波差测量、这种技术是现代高科技、高精度光学检测中的一种有效方法。