一种精密自动定位器的研制

精密自动定位器根据象散性原理研制而成。该定位器由非接触式光学传感头、移位控制驱动器以及精密执行机构三部分组成，已成功地用于非接触式纳米级光外差轮廓测量仪的调焦系统中，其定位精度可达±０．１μｍ。