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采用非致冷微悬臂探测器的红外成像技术
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作者 高国龙 《红外》 CAS 2003年第12期33-37,共5页
1 引言 热红外探测和成像技术在商业、工业、医学及军事领域具有广泛的用途。然而。
关键词 微悬臂探测器 红外成像技术 反应离子蚀刻法 象限元读出 CCD 分辨率 光路设计
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