高纯石墨高温纯化主要工艺参数分析研究

采取高温蒸发与特种气体纯化相结合的方法,将被机械或化学加工环节污染的、杂质总含量约50×10^(-6)的高纯石墨工件进行纯化,确保高纯石墨工件总杂质含量低于10×10^(-6)。理论分析了反应炉膛温度、炉压、纯化气体用量、纯化气体和保护气体的比例等参数,并进行了实验验证,最终实现了高纯石墨工件的纯化。