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负性光敏聚酰亚胺的种类及研究进展
1
作者
孙孟冉
罗雄科
+3 位作者
陶克文
王义明
王杰
郭旭虹
《华东理工大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第1期15-29,共15页
由于优异的综合性能,负性光敏聚酰亚胺已成为微电子领域不可或缺的材料,根据负性光敏聚酰亚胺结构和合成工艺的不同,总结了其主要种类和研究进展。随着微电子技术的高度集成化和扇出型晶圆级封装技术的发展,对负性光敏聚酰亚胺材料提出...
由于优异的综合性能,负性光敏聚酰亚胺已成为微电子领域不可或缺的材料,根据负性光敏聚酰亚胺结构和合成工艺的不同,总结了其主要种类和研究进展。随着微电子技术的高度集成化和扇出型晶圆级封装技术的发展,对负性光敏聚酰亚胺材料提出了更高的要求,如更低的介电常数、更低的热膨胀系数和更低的固化温度等。本文进一步介绍了负性光敏聚酰亚胺材料的不同改性方法及其微观作用机制,并对比分析了各类改性方法的优缺点,为高性能负性光敏聚酰亚胺材料的设计开发提供理论基础。
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关键词
负
性
光
敏聚
酰
亚
胺
改
性
介电常数
热膨胀系数
低温固化
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职称材料
负性光敏聚酰亚胺的研究进展
被引量:
2
2
作者
吕兴军
廖学明
+3 位作者
宋涛
宋志祥
屈秀宁
佘万能
《化工技术与开发》
CAS
2008年第7期23-27,共5页
综述了负性光敏性聚酰亚胺的研究进展,着重介绍了商业上广泛使用的3种类型的光敏性聚酰亚胺的优缺点及对其的改性工作,并对这种材料的发展给予了展望。
关键词
聚
酰
亚
胺
光
敏
性
负
性
改
性
研究进展
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职称材料
低温固化负性光敏聚酰亚胺的制备与性能
被引量:
4
3
作者
韩兵
李铭新
+1 位作者
楚存鲁
王建伟
《工程塑料应用》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期31-35,共5页
以4,4'-联苯醚二酐与4,4′-二氨基二苯醚等为原材料,合成了聚酰胺酸酯(PAE)树脂,再以此树脂与助剂进行复配,制备了负性光敏聚酰亚胺(PSPI)胶液,再将所制胶液固化成膜,得到PSPI涂膜。利用凝胶渗透色谱、傅里叶变换红外光谱、热重分...
以4,4'-联苯醚二酐与4,4′-二氨基二苯醚等为原材料,合成了聚酰胺酸酯(PAE)树脂,再以此树脂与助剂进行复配,制备了负性光敏聚酰亚胺(PSPI)胶液,再将所制胶液固化成膜,得到PSPI涂膜。利用凝胶渗透色谱、傅里叶变换红外光谱、热重分析等对PAE树脂与PSPI涂膜的相关性能进行了表征,同时对PSPI涂膜的附着性能与耐药性进行了研究。结果表明,成功合成了PAE树脂;含1.5%(质量分数)偶联剂的PSPI胶液200℃的固化膜在硅基材和铜基材上均具有较好的附着性能;200℃固化的PSPI涂膜的酰亚胺化率高达90%,PSPI薄膜的5%热失重温度为315℃,10%热失重温度为351℃,在590℃的质量保持率为56%,且其具有较好的耐药性;200℃固化的PSPI涂膜经200 mJ/cm^(2)曝光显影后的图案开口清晰,棱角分明。以上实验结果表明,成功制备了可200℃低温固化的负性PSPI,在半导体先进封装等领域具有极大的实用价值。
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关键词
负
性
光
敏聚
酰
亚
胺
低温固化
涂膜
性
能
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职称材料
负性光敏聚酰亚胺研究与应用进展
被引量:
4
4
作者
韩兵
李铭新
《工程塑料应用》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第11期158-162,共5页
简述了负性光敏聚酰亚胺(n-PSPI)材料的发展史,综述了近年来n-PSPI材料国内外的研究与应用进展。根据n-PSPI材料光致显影机理的不同主要分为酯型、离子型、光产酸型、光产碱型和自增感型,分别阐述了各类型材料的优缺点。简述了目前市场...
简述了负性光敏聚酰亚胺(n-PSPI)材料的发展史,综述了近年来n-PSPI材料国内外的研究与应用进展。根据n-PSPI材料光致显影机理的不同主要分为酯型、离子型、光产酸型、光产碱型和自增感型,分别阐述了各类型材料的优缺点。简述了目前市场规模商业化的n-PSPI产品及其性能参数,最后对未来n-PSPI材料的发展与应用方向进行了展望。
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关键词
负
性
光
敏型聚
酰
亚
胺
酯型
离子型
自增感型
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职称材料
负性光敏聚酰亚胺溶解性提高的研究
5
作者
周海峰
马家举
江棂
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第11期35-37,共3页
光敏聚酰亚胺(PSPI)是兼有耐热性能和感光性能的一类高分子材料。本文结合负性PSPI的合成进展,论述了提高PSPI溶解性能的途径。
关键词
负
性
光
敏聚
酰
亚
胺
溶解
性
能
下载PDF
职称材料
化学亚胺化程度对正性光敏聚酰亚胺影响
被引量:
2
6
作者
朱丹阳
金锐
+3 位作者
吴作林
韩宝春
杨正华
张春华
《应用化学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期276-281,共6页
选用2,2′-双三氟甲基-4,4′-联苯二胺(TFDB)与二苯醚四甲酸二酐(ODPA)作为聚合物的基本骨架进行缩聚反应生成聚酰胺酸,再经过化学亚胺化得到可溶性聚酰亚胺(PI)。通过调节2-甲基吡啶在亚胺化试剂中的含量以达到控制酰亚胺化程度的目的...
选用2,2′-双三氟甲基-4,4′-联苯二胺(TFDB)与二苯醚四甲酸二酐(ODPA)作为聚合物的基本骨架进行缩聚反应生成聚酰胺酸,再经过化学亚胺化得到可溶性聚酰亚胺(PI)。通过调节2-甲基吡啶在亚胺化试剂中的含量以达到控制酰亚胺化程度的目的,探讨不同亚胺化程度的PI胶的显影性能。结果表明,当n(2-甲基吡啶)∶n(乙酸酐)=1∶5时,所合成的光敏聚酰亚胺的显影性能最优。
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关键词
正
性
光
敏聚
酰
亚
胺
化学
亚
胺
化
溶解
性
光
刻
下载PDF
职称材料
正性光敏聚酰亚胺研究与应用进展(二)
被引量:
6
7
作者
刘金刚
袁向文
+2 位作者
尹志华
左立辉
杨士勇
《电子与封装》
2009年第1期7-11,23,共6页
正性光敏聚酰亚胺(p-PSPI)是一类重要的集成电路(IC)封装材料,广泛用于IC器件的应力缓冲、表面钝化以及层间绝缘。与传统的负性光敏聚酰亚胺(n-PSPI)相比,p-PSPI无论在光刻精度还是环境友好性方面均表现出了更为优良的品质。文章综述了...
正性光敏聚酰亚胺(p-PSPI)是一类重要的集成电路(IC)封装材料,广泛用于IC器件的应力缓冲、表面钝化以及层间绝缘。与传统的负性光敏聚酰亚胺(n-PSPI)相比,p-PSPI无论在光刻精度还是环境友好性方面均表现出了更为优良的品质。文章综述了国内外p-PSPI电子封装材料的最新研究与应用进展状况。系统阐述了p-PSPI的光化学机理。对目前商业化p-PSPI产品的特性、在微电子以及光电子领域的应用和未来发展趋势进行了介绍。最后对国内高性能p-PSPI电子材料的研发工作提出了建议。
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关键词
正
性
光
敏聚
酰
亚
胺
光
刻
微电子封装
光
电器件
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职称材料
正性光敏聚酰亚胺研究与应用进展(一)
被引量:
5
8
作者
刘金刚
袁向文
+2 位作者
尹志华
左立辉
杨士勇
《电子与封装》
2008年第12期1-6,共6页
正性光敏聚酰亚胺(p-PSPI)是一类重要的集成电路(IC)封装材料,广泛用于IC器件的应力缓冲、表面钝化以及层间绝缘。与传统的负性光敏聚酰亚胺(n-PSPI)相比,p-PSPI无论在光刻精度还是环境友好性方面均表现出了更为优良的品质。文章综述了...
正性光敏聚酰亚胺(p-PSPI)是一类重要的集成电路(IC)封装材料,广泛用于IC器件的应力缓冲、表面钝化以及层间绝缘。与传统的负性光敏聚酰亚胺(n-PSPI)相比,p-PSPI无论在光刻精度还是环境友好性方面均表现出了更为优良的品质。文章综述了国内外p-PSPI电子封装材料的最新研究与应用进展状况。系统阐述了p-PSPI的光化学机理。对目前商业化p-PSPI产品的特性、在微电子以及光电子领域的应用和未来发展趋势进行了介绍。最后对国内高性能p-PSPI电子材料的研发工作提出了建议。
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关键词
正
性
光
敏聚
酰
亚
胺
光
刻
微电子封装
光
电器件
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职称材料
光敏聚酰亚胺的合成与应用
被引量:
1
9
作者
李元勋
唐先忠
韩丽坤
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004年第4期40-42,36,共4页
光敏聚酰亚胺以其优良的性能在许多高新技术领域中得到了广泛的应用,是当今材料科学研究的热点之一。综述了光敏聚酰亚胺的分类和主要合成方法,并提出了新的合成思路,同时简要地介绍了各类光敏聚酰亚胺的性能及在高新技术中的应用。
关键词
光
敏聚
酰
亚
胺
材料合成
热稳定
性
光
敏材料
负性光敏聚酰亚胺体系
正
性
光
敏聚
酰
亚
胺
体系
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职称材料
光敏聚酰亚胺合成方法及应用的最新进展
被引量:
11
10
作者
侯豪情
李悦生
+1 位作者
丁孟贤
韩阶平
《功能高分子学报》
CAS
CSCD
1996年第2期279-289,共11页
从负性、正性和化学增幅三个方面阐述了光敏聚酰亚胺(PSPI)几十年来的研究和发展现状,并做了一定深度的讨论。
关键词
光
敏树酯
聚
酰
亚
胺
正
性
光
刻胶
负
性
光
刻胶
下载PDF
职称材料
光敏聚酰亚胺的发展现状
被引量:
2
11
作者
孙自淑
马家举
江棂
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第10期17-20,共4页
综述了光敏聚酰亚胺(PSPI)作为高分子的最新进展,分别对负性PSPI和正性PSPI的合成方法进行了归类。
关键词
PSPI
介电常数
共聚
光
敏聚
酰
亚
胺
现状
PSPI
合成方法
高分子
负
性
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职称材料
低温固化型光敏聚酰亚胺的研究与应用进展
被引量:
7
12
作者
李铭新
韩兵
王珂
《工程塑料应用》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第12期157-161,共5页
综述了近年来低温固化型光敏聚酰亚胺(PSPI)材料的研究与应用进展,根据低温固化机理的不同,主要从合成可溶聚酰亚胺、优化聚酰亚胺分子结构与配方、合成聚异酰亚胺以及催化聚酰胺酸反应等方面,分别介绍了制备低温固化型PSPI的方法。分...
综述了近年来低温固化型光敏聚酰亚胺(PSPI)材料的研究与应用进展,根据低温固化机理的不同,主要从合成可溶聚酰亚胺、优化聚酰亚胺分子结构与配方、合成聚异酰亚胺以及催化聚酰胺酸反应等方面,分别介绍了制备低温固化型PSPI的方法。分析了目前低温固化型PSPI材料的应用现状,介绍了目前规模商业化的低温固化型PSPI产品,包括正性产品与负性产品两大类。最后对国内未来低温固化型PSPI材料的应用与发展进行了展望。
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关键词
低温固化
光
敏型
聚
酰
亚
胺
正
性
负
性
下载PDF
职称材料
光敏聚酰亚胺的研究与应用进展
被引量:
4
13
作者
魏文康
虞鑫海
+1 位作者
王凯
吕伦春
《合成技术及应用》
2018年第3期23-26,共4页
光敏聚酰亚胺因其优良的综合性能,被广泛地应用于微电子领域的绝缘层和保护层等。本文综述了光敏聚酰亚胺(PSPI)的最新研究进展、发展概况,并且分别对负性光敏聚酰亚胺和正性光敏聚酰亚胺的结构、性能、合成方法以及相关材料的实际应用...
光敏聚酰亚胺因其优良的综合性能,被广泛地应用于微电子领域的绝缘层和保护层等。本文综述了光敏聚酰亚胺(PSPI)的最新研究进展、发展概况,并且分别对负性光敏聚酰亚胺和正性光敏聚酰亚胺的结构、性能、合成方法以及相关材料的实际应用进行了系统的阐述。
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关键词
光
敏聚
酰
亚
胺
正
性
负
性
下载PDF
职称材料
负性光敏聚酰亚胺材料研究进展
14
作者
吴嘉豪
张诗洋
+4 位作者
蔡铭威
王知
胡俊祺
刘屹东
闵永刚
《化学通报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第8期950-959,共10页
芳香族聚酰亚胺具有优异的绝缘性、热稳定性、介电性能、机械性能以及化学稳定性,可在微电子工业中用作绝缘和保护材料。负性光敏聚酰亚胺具有芳香族聚酰亚胺的优点,同时也具有感光性,使得微电子加工过程中减少对光刻胶的依赖,简化图案...
芳香族聚酰亚胺具有优异的绝缘性、热稳定性、介电性能、机械性能以及化学稳定性,可在微电子工业中用作绝缘和保护材料。负性光敏聚酰亚胺具有芳香族聚酰亚胺的优点,同时也具有感光性,使得微电子加工过程中减少对光刻胶的依赖,简化图案形成的工艺,有力促进了生产效率。本文综述了负性光敏聚酰亚胺的发展,重点介绍聚酰亚胺光刻胶体系的原理及近期研究进展,并对负性光敏聚酰亚胺的发展给予展望。
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关键词
负
性
光
敏聚
酰
亚
胺
绝缘材料
光
刻胶
原文传递
光敏聚酰亚胺的合成与应用研究进展
15
作者
宋昌辉
张若青
+2 位作者
王海涛
项坤
邹菁
《纸和造纸》
2024年第4期7-13,共7页
随着科学技术的发展,光敏聚酰亚胺(PSPI)作为一类重要的高性能材料,因其独特的光敏响应特性和卓越的物理化学性能,在光敏材料领域展现出广泛应用前景,并在智能纸基材料的探索中展现出巨大的潜在价值。系统综述PSPI的最新研究进展,不仅...
随着科学技术的发展,光敏聚酰亚胺(PSPI)作为一类重要的高性能材料,因其独特的光敏响应特性和卓越的物理化学性能,在光敏材料领域展现出广泛应用前景,并在智能纸基材料的探索中展现出巨大的潜在价值。系统综述PSPI的最新研究进展,不仅深入剖析了其负性和正性两类材料在结构特征、物理化学性质上的异同,还详尽阐述了各自合成方法以及应用。这一综述旨在为光敏聚酰亚胺材料,尤其是其在智能纸基材料领域的进一步研发与应用,提供有益的理论支持。
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关键词
光
敏聚
酰
亚
胺
合成方法
负
性
光
敏聚
酰
亚
胺
正
性
光
敏聚
酰
亚
胺
智能纸基材料
原文传递
题名
负性光敏聚酰亚胺的种类及研究进展
1
作者
孙孟冉
罗雄科
陶克文
王义明
王杰
郭旭虹
机构
华东理工大学化工学院
上海泽丰半导体科技有限公司
绿色能源化工国际联合研究中心
出处
《华东理工大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第1期15-29,共15页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金(JKA01221712)。
文摘
由于优异的综合性能,负性光敏聚酰亚胺已成为微电子领域不可或缺的材料,根据负性光敏聚酰亚胺结构和合成工艺的不同,总结了其主要种类和研究进展。随着微电子技术的高度集成化和扇出型晶圆级封装技术的发展,对负性光敏聚酰亚胺材料提出了更高的要求,如更低的介电常数、更低的热膨胀系数和更低的固化温度等。本文进一步介绍了负性光敏聚酰亚胺材料的不同改性方法及其微观作用机制,并对比分析了各类改性方法的优缺点,为高性能负性光敏聚酰亚胺材料的设计开发提供理论基础。
关键词
负
性
光
敏聚
酰
亚
胺
改
性
介电常数
热膨胀系数
低温固化
Keywords
negative photosensitive polyimide
modification
dielectric constant
coefficient of thermal expansion
low temperature curing
分类号
TQ571.9 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
负性光敏聚酰亚胺的研究进展
被引量:
2
2
作者
吕兴军
廖学明
宋涛
宋志祥
屈秀宁
佘万能
机构
湖北省化学研究院
出处
《化工技术与开发》
CAS
2008年第7期23-27,共5页
文摘
综述了负性光敏性聚酰亚胺的研究进展,着重介绍了商业上广泛使用的3种类型的光敏性聚酰亚胺的优缺点及对其的改性工作,并对这种材料的发展给予了展望。
关键词
聚
酰
亚
胺
光
敏
性
负
性
改
性
研究进展
Keywords
photosensitive
polyimide
negative
modification
research progress
分类号
TQ323.7 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
低温固化负性光敏聚酰亚胺的制备与性能
被引量:
4
3
作者
韩兵
李铭新
楚存鲁
王建伟
机构
波米科技有限公司
出处
《工程塑料应用》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期31-35,共5页
文摘
以4,4'-联苯醚二酐与4,4′-二氨基二苯醚等为原材料,合成了聚酰胺酸酯(PAE)树脂,再以此树脂与助剂进行复配,制备了负性光敏聚酰亚胺(PSPI)胶液,再将所制胶液固化成膜,得到PSPI涂膜。利用凝胶渗透色谱、傅里叶变换红外光谱、热重分析等对PAE树脂与PSPI涂膜的相关性能进行了表征,同时对PSPI涂膜的附着性能与耐药性进行了研究。结果表明,成功合成了PAE树脂;含1.5%(质量分数)偶联剂的PSPI胶液200℃的固化膜在硅基材和铜基材上均具有较好的附着性能;200℃固化的PSPI涂膜的酰亚胺化率高达90%,PSPI薄膜的5%热失重温度为315℃,10%热失重温度为351℃,在590℃的质量保持率为56%,且其具有较好的耐药性;200℃固化的PSPI涂膜经200 mJ/cm^(2)曝光显影后的图案开口清晰,棱角分明。以上实验结果表明,成功制备了可200℃低温固化的负性PSPI,在半导体先进封装等领域具有极大的实用价值。
关键词
负
性
光
敏聚
酰
亚
胺
低温固化
涂膜
性
能
Keywords
negative
photosensitive polyimide
low-temperature curable
coating
property
分类号
TQ323.7 [化学工程—合成树脂塑料工业]
下载PDF
职称材料
题名
负性光敏聚酰亚胺研究与应用进展
被引量:
4
4
作者
韩兵
李铭新
机构
波米科技有限公司
出处
《工程塑料应用》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第11期158-162,共5页
文摘
简述了负性光敏聚酰亚胺(n-PSPI)材料的发展史,综述了近年来n-PSPI材料国内外的研究与应用进展。根据n-PSPI材料光致显影机理的不同主要分为酯型、离子型、光产酸型、光产碱型和自增感型,分别阐述了各类型材料的优缺点。简述了目前市场规模商业化的n-PSPI产品及其性能参数,最后对未来n-PSPI材料的发展与应用方向进行了展望。
关键词
负
性
光
敏型聚
酰
亚
胺
酯型
离子型
自增感型
Keywords
negative
photosensitive polyimide
ester type
ionic type
self-photosensitive type
分类号
TQ323.7 [化学工程—合成树脂塑料工业]
下载PDF
职称材料
题名
负性光敏聚酰亚胺溶解性提高的研究
5
作者
周海峰
马家举
江棂
机构
安徽理工大学化学工程系
出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第11期35-37,共3页
基金
安徽省教育厅自然科学研究重点项目(2005KJ014ZD)
文摘
光敏聚酰亚胺(PSPI)是兼有耐热性能和感光性能的一类高分子材料。本文结合负性PSPI的合成进展,论述了提高PSPI溶解性能的途径。
关键词
负
性
光
敏聚
酰
亚
胺
溶解
性
能
Keywords
negative photosensitive polyimide,solubility
分类号
O633.22 [理学—高分子化学]
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职称材料
题名
化学亚胺化程度对正性光敏聚酰亚胺影响
被引量:
2
6
作者
朱丹阳
金锐
吴作林
韩宝春
杨正华
张春华
机构
中国科学院长春应用化学研究所
全球能源互联网研究院
出处
《应用化学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期276-281,共6页
基金
国家电网公司科技项目:高压IGBT芯片表面钝化工艺研究(5455DW150005)~~
文摘
选用2,2′-双三氟甲基-4,4′-联苯二胺(TFDB)与二苯醚四甲酸二酐(ODPA)作为聚合物的基本骨架进行缩聚反应生成聚酰胺酸,再经过化学亚胺化得到可溶性聚酰亚胺(PI)。通过调节2-甲基吡啶在亚胺化试剂中的含量以达到控制酰亚胺化程度的目的,探讨不同亚胺化程度的PI胶的显影性能。结果表明,当n(2-甲基吡啶)∶n(乙酸酐)=1∶5时,所合成的光敏聚酰亚胺的显影性能最优。
关键词
正
性
光
敏聚
酰
亚
胺
化学
亚
胺
化
溶解
性
光
刻
Keywords
positive photosensitive polyimide
chemical imidization
solubility
photolithography
分类号
O633.2 [理学—高分子化学]
下载PDF
职称材料
题名
正性光敏聚酰亚胺研究与应用进展(二)
被引量:
6
7
作者
刘金刚
袁向文
尹志华
左立辉
杨士勇
机构
高技术材料实验室
北京波米科技有限公司
出处
《电子与封装》
2009年第1期7-11,23,共6页
基金
北京市科委资助项目(编号:Z08080302110801)
文摘
正性光敏聚酰亚胺(p-PSPI)是一类重要的集成电路(IC)封装材料,广泛用于IC器件的应力缓冲、表面钝化以及层间绝缘。与传统的负性光敏聚酰亚胺(n-PSPI)相比,p-PSPI无论在光刻精度还是环境友好性方面均表现出了更为优良的品质。文章综述了国内外p-PSPI电子封装材料的最新研究与应用进展状况。系统阐述了p-PSPI的光化学机理。对目前商业化p-PSPI产品的特性、在微电子以及光电子领域的应用和未来发展趋势进行了介绍。最后对国内高性能p-PSPI电子材料的研发工作提出了建议。
关键词
正
性
光
敏聚
酰
亚
胺
光
刻
微电子封装
光
电器件
Keywords
positive-working photosensitive polyimides
photolithography
microelectronic packaging
optoelectronic devices
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
正性光敏聚酰亚胺研究与应用进展(一)
被引量:
5
8
作者
刘金刚
袁向文
尹志华
左立辉
杨士勇
机构
高技术材料实验室
北京波米科技有限公司
出处
《电子与封装》
2008年第12期1-6,共6页
基金
北京市科委资助项目(编号:Z08080302110801)
文摘
正性光敏聚酰亚胺(p-PSPI)是一类重要的集成电路(IC)封装材料,广泛用于IC器件的应力缓冲、表面钝化以及层间绝缘。与传统的负性光敏聚酰亚胺(n-PSPI)相比,p-PSPI无论在光刻精度还是环境友好性方面均表现出了更为优良的品质。文章综述了国内外p-PSPI电子封装材料的最新研究与应用进展状况。系统阐述了p-PSPI的光化学机理。对目前商业化p-PSPI产品的特性、在微电子以及光电子领域的应用和未来发展趋势进行了介绍。最后对国内高性能p-PSPI电子材料的研发工作提出了建议。
关键词
正
性
光
敏聚
酰
亚
胺
光
刻
微电子封装
光
电器件
Keywords
positive-working photosensitive polyimides
photolithography
microelectronic packaging
opto- electronic devices
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
光敏聚酰亚胺的合成与应用
被引量:
1
9
作者
李元勋
唐先忠
韩丽坤
机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004年第4期40-42,36,共4页
基金
国家"863"资助项目(编号:2002AA325110)
文摘
光敏聚酰亚胺以其优良的性能在许多高新技术领域中得到了广泛的应用,是当今材料科学研究的热点之一。综述了光敏聚酰亚胺的分类和主要合成方法,并提出了新的合成思路,同时简要地介绍了各类光敏聚酰亚胺的性能及在高新技术中的应用。
关键词
光
敏聚
酰
亚
胺
材料合成
热稳定
性
光
敏材料
负性光敏聚酰亚胺体系
正
性
光
敏聚
酰
亚
胺
体系
Keywords
photosensitive polyimides
synthesis
properties
application
分类号
TB381 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
光敏聚酰亚胺合成方法及应用的最新进展
被引量:
11
10
作者
侯豪情
李悦生
丁孟贤
韩阶平
机构
中国科学院长春应用化学研究所
中国科学院微电子中心
出处
《功能高分子学报》
CAS
CSCD
1996年第2期279-289,共11页
文摘
从负性、正性和化学增幅三个方面阐述了光敏聚酰亚胺(PSPI)几十年来的研究和发展现状,并做了一定深度的讨论。
关键词
光
敏树酯
聚
酰
亚
胺
正
性
光
刻胶
负
性
光
刻胶
分类号
TQ323.7 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
光敏聚酰亚胺的发展现状
被引量:
2
11
作者
孙自淑
马家举
江棂
机构
安徽理工大学化工系
出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第10期17-20,共4页
基金
安徽省教育厅自然科学研究重点项目(2005KJ014ZD)
文摘
综述了光敏聚酰亚胺(PSPI)作为高分子的最新进展,分别对负性PSPI和正性PSPI的合成方法进行了归类。
关键词
PSPI
介电常数
共聚
光
敏聚
酰
亚
胺
现状
PSPI
合成方法
高分子
负
性
Keywords
photosensitive polyimide, dielectric constant, copolymerization
分类号
TQ317 [化学工程—高聚物工业]
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职称材料
题名
低温固化型光敏聚酰亚胺的研究与应用进展
被引量:
7
12
作者
李铭新
韩兵
王珂
机构
波米科技有限公司
出处
《工程塑料应用》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第12期157-161,共5页
文摘
综述了近年来低温固化型光敏聚酰亚胺(PSPI)材料的研究与应用进展,根据低温固化机理的不同,主要从合成可溶聚酰亚胺、优化聚酰亚胺分子结构与配方、合成聚异酰亚胺以及催化聚酰胺酸反应等方面,分别介绍了制备低温固化型PSPI的方法。分析了目前低温固化型PSPI材料的应用现状,介绍了目前规模商业化的低温固化型PSPI产品,包括正性产品与负性产品两大类。最后对国内未来低温固化型PSPI材料的应用与发展进行了展望。
关键词
低温固化
光
敏型
聚
酰
亚
胺
正
性
负
性
Keywords
low-temperature curable
photosensitive
polyimide
positive
negative
分类号
TQ323.7 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
光敏聚酰亚胺的研究与应用进展
被引量:
4
13
作者
魏文康
虞鑫海
王凯
吕伦春
机构
东华大学应用化学系
聚威工程塑料(上海)有限公司
上海迪美高分子材料有限公司
出处
《合成技术及应用》
2018年第3期23-26,共4页
文摘
光敏聚酰亚胺因其优良的综合性能,被广泛地应用于微电子领域的绝缘层和保护层等。本文综述了光敏聚酰亚胺(PSPI)的最新研究进展、发展概况,并且分别对负性光敏聚酰亚胺和正性光敏聚酰亚胺的结构、性能、合成方法以及相关材料的实际应用进行了系统的阐述。
关键词
光
敏聚
酰
亚
胺
正
性
负
性
Keywords
photosensitive polyimide
positive
negative
分类号
TQ323.6 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
负性光敏聚酰亚胺材料研究进展
14
作者
吴嘉豪
张诗洋
蔡铭威
王知
胡俊祺
刘屹东
闵永刚
机构
广东工业大学材料与能源学院
出处
《化学通报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第8期950-959,共10页
基金
国家自然科学基金联合基金项目(U20A20340)
国家重点研发计划项目(2020YFB0408100)
+2 种基金
广东引进创新创业团队计划项目(2016ZT06C412)
佛山市科技创新团队项目(1920001000108)
广州市红棉计划项目(HMJH-2020-0012)资助。
文摘
芳香族聚酰亚胺具有优异的绝缘性、热稳定性、介电性能、机械性能以及化学稳定性,可在微电子工业中用作绝缘和保护材料。负性光敏聚酰亚胺具有芳香族聚酰亚胺的优点,同时也具有感光性,使得微电子加工过程中减少对光刻胶的依赖,简化图案形成的工艺,有力促进了生产效率。本文综述了负性光敏聚酰亚胺的发展,重点介绍聚酰亚胺光刻胶体系的原理及近期研究进展,并对负性光敏聚酰亚胺的发展给予展望。
关键词
负
性
光
敏聚
酰
亚
胺
绝缘材料
光
刻胶
Keywords
Negative photosensitive polyimide
Insulating materials
Photoresist
分类号
TQ323.7 [化学工程—合成树脂塑料工业]
原文传递
题名
光敏聚酰亚胺的合成与应用研究进展
15
作者
宋昌辉
张若青
王海涛
项坤
邹菁
机构
武汉工程大学化学与环境工程学院
出处
《纸和造纸》
2024年第4期7-13,共7页
基金
2023年工信部高质量发展专项(TC230A076-18)。
文摘
随着科学技术的发展,光敏聚酰亚胺(PSPI)作为一类重要的高性能材料,因其独特的光敏响应特性和卓越的物理化学性能,在光敏材料领域展现出广泛应用前景,并在智能纸基材料的探索中展现出巨大的潜在价值。系统综述PSPI的最新研究进展,不仅深入剖析了其负性和正性两类材料在结构特征、物理化学性质上的异同,还详尽阐述了各自合成方法以及应用。这一综述旨在为光敏聚酰亚胺材料,尤其是其在智能纸基材料领域的进一步研发与应用,提供有益的理论支持。
关键词
光
敏聚
酰
亚
胺
合成方法
负
性
光
敏聚
酰
亚
胺
正
性
光
敏聚
酰
亚
胺
智能纸基材料
Keywords
photosensitive polyimide
synthesis
negative
positive
分类号
TS727.2 [轻工技术与工程—制浆造纸工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
负性光敏聚酰亚胺的种类及研究进展
孙孟冉
罗雄科
陶克文
王义明
王杰
郭旭虹
《华东理工大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
2
负性光敏聚酰亚胺的研究进展
吕兴军
廖学明
宋涛
宋志祥
屈秀宁
佘万能
《化工技术与开发》
CAS
2008
2
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职称材料
3
低温固化负性光敏聚酰亚胺的制备与性能
韩兵
李铭新
楚存鲁
王建伟
《工程塑料应用》
CAS
CSCD
北大核心
2022
4
下载PDF
职称材料
4
负性光敏聚酰亚胺研究与应用进展
韩兵
李铭新
《工程塑料应用》
CAS
CSCD
北大核心
2021
4
下载PDF
职称材料
5
负性光敏聚酰亚胺溶解性提高的研究
周海峰
马家举
江棂
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
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职称材料
6
化学亚胺化程度对正性光敏聚酰亚胺影响
朱丹阳
金锐
吴作林
韩宝春
杨正华
张春华
《应用化学》
CAS
CSCD
北大核心
2017
2
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职称材料
7
正性光敏聚酰亚胺研究与应用进展(二)
刘金刚
袁向文
尹志华
左立辉
杨士勇
《电子与封装》
2009
6
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职称材料
8
正性光敏聚酰亚胺研究与应用进展(一)
刘金刚
袁向文
尹志华
左立辉
杨士勇
《电子与封装》
2008
5
下载PDF
职称材料
9
光敏聚酰亚胺的合成与应用
李元勋
唐先忠
韩丽坤
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004
1
下载PDF
职称材料
10
光敏聚酰亚胺合成方法及应用的最新进展
侯豪情
李悦生
丁孟贤
韩阶平
《功能高分子学报》
CAS
CSCD
1996
11
下载PDF
职称材料
11
光敏聚酰亚胺的发展现状
孙自淑
马家举
江棂
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
下载PDF
职称材料
12
低温固化型光敏聚酰亚胺的研究与应用进展
李铭新
韩兵
王珂
《工程塑料应用》
CAS
CSCD
北大核心
2021
7
下载PDF
职称材料
13
光敏聚酰亚胺的研究与应用进展
魏文康
虞鑫海
王凯
吕伦春
《合成技术及应用》
2018
4
下载PDF
职称材料
14
负性光敏聚酰亚胺材料研究进展
吴嘉豪
张诗洋
蔡铭威
王知
胡俊祺
刘屹东
闵永刚
《化学通报》
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
原文传递
15
光敏聚酰亚胺的合成与应用研究进展
宋昌辉
张若青
王海涛
项坤
邹菁
《纸和造纸》
2024
原文传递
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