基于非对称的马赫-增德干涉仪的CMOS兼容的热补偿器

本文提出一种新型的基于非对称的马赫-增德干涉仪的CMOS兼容的热补偿器,能补偿大多数具有正热光效应的硅基光电子集成器件,虽然该热补偿器由硅基的马赫-增德干涉仪组成,但却具有负热光系数,且可直接通过现有CMOS工艺制作,为半导体光集成器件提供一种热稳定方式。