期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
f-θ扫描物镜设计与研究
被引量:
1
1
作者
刘金荣
《电子工业专用设备》
2015年第6期45-50,共6页
以初级像差理论为基础,借助ZEMAX光学设计软件,通过建立合理的品质函数,优化设计得到了符合实际使用要求的f-θ聚焦物镜。
关键词
半导体设备
f-θ透镜
线性
负畸变
下载PDF
职称材料
题名
f-θ扫描物镜设计与研究
被引量:
1
1
作者
刘金荣
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2015年第6期45-50,共6页
文摘
以初级像差理论为基础,借助ZEMAX光学设计软件,通过建立合理的品质函数,优化设计得到了符合实际使用要求的f-θ聚焦物镜。
关键词
半导体设备
f-θ透镜
线性
负畸变
Keywords
Semiconductor equipment
f-θ Scan lens
Linear
Negative distortion
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
f-θ扫描物镜设计与研究
刘金荣
《电子工业专用设备》
2015
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部