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f-θ扫描物镜设计与研究 被引量:1
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作者 刘金荣 《电子工业专用设备》 2015年第6期45-50,共6页
以初级像差理论为基础,借助ZEMAX光学设计软件,通过建立合理的品质函数,优化设计得到了符合实际使用要求的f-θ聚焦物镜。
关键词 半导体设备 f-θ透镜 线性 负畸变
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