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质量分离低能离子束沉积碳膜及离子轰击效应 被引量：2
1
作者 廖梅勇 张键辉 +4 位作者 秦复光 刘志凯 杨少延 王占国 李述汤 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期2186-2190,共5页
用质量分离的低能离子束沉积技术得到了非晶碳薄膜 ,X射线衍射、Raman谱以及俄歇深度谱的线形表明 ,此种非晶碳膜中镶嵌着金刚石颗粒 .碳离子的浅注入是该碳膜SP3 形成的主要机理 .
关键词 非晶碳 离子轰击 质量分离低能离子束 薄膜
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