C_(4)F_(7)N质量流量转换系数测定方法

C_(4)F_(7)N混合气体处理和检测技术的研究需要以稳定的气体流量为基础,因此研究C_(4)F_(7)N气体的质量流量转换系数具有重要的工程意义。为此研究了C_(4)F_(7)N的质量流量转换系数测定方法:由一台步进电机同时匀速推动两个独立气室中的活塞,使C_(4)F_(7)N和N_(2)在相同的压力下以相同的流量流动,采用出厂为N_(2)标定的气体质量流量控制器记录两路流量示值;改变上述步进电机的转速,可获得不同流量下的流量示值,采用最小二乘法对两路流量数据进行线性拟合,得到C_(4)F_(7)N质量流量转换系数与气体流量的线性关系式,代入流量值可计算出C_(4)F_(7)N质量流量转换系数。同样方法可得出C_(4)F_(7)N与CO_(2)混合气体的质量流量转换系数,与理论值误差在0.5%以内。本研究成果为C_(4)F_(7)N混合气体相关产品的研发奠定了校验基础。