弯振复合型单足压电驱动器设计

为获得实用的小型压电驱动器,选择梁的三阶弯振作为压电驱动器的振动模态,并通过有限元法对压电驱动器进行了设计与分析.通过模态分析,确定压电驱动器的结构参数;对压电驱动器进行了电学特性仿真分析,研究其导纳特性,并获得其理论机械品质因数与机电耦合系数.制作了压电驱动器样机,进行了阻抗特性测试.最后,对压电驱动器进行了机械输出特性测试.实验结果表明,所设计的压电驱动器最高速度可达735mm/s,最大输出推力为1.1N.