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超净介质中颗粒污染物光学检测技术的进展 被引量：1
1
作者 王建华 王乃宁 《华东工业大学学报》 1995年第2期60-68,共9页
本文对超净介质中颗粒污染物光学检测的基本原理、技术特性、应用范围、技术现状及发展动向作了总体性阐述．
关键词 超净介质 杂质控制 光学测量 颗粒污染物
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绝缘与介电材料
2
《电子科技文摘》 2000年第5期5-5,共1页
Y99-61799-341 0007249利用各向同性腐蚀(111)定向硅制成的微波用介质膜=Dielectric membrances manufactured by isotropic etch-
关键词 介电材料 各向同性腐蚀 介质膜 绝缘电压 微波 定向 超净介质 绝缘材料 电容器 利用
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