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先进微纳加工与测试平台超净化实验室环境系统设计综述
1
作者
朱俭峰
《洁净与空调技术》
2022年第1期71-79,共9页
西湖大学先进微纳加工与测试平台(以下简称“微纳平台”)依托工学院筹建,是西湖大学六个校级科研平台之一,秉承“顶尖、科学、经济”的理念,旨在打造由顶尖实验设备和优秀技术人才组建而成的先进微纳器件加工和微纳结构表征的大型仪器...
西湖大学先进微纳加工与测试平台(以下简称“微纳平台”)依托工学院筹建,是西湖大学六个校级科研平台之一,秉承“顶尖、科学、经济”的理念,旨在打造由顶尖实验设备和优秀技术人才组建而成的先进微纳器件加工和微纳结构表征的大型仪器共享服务平台。简述了微纳平台超净化实验室系统工艺设计原则、理念、内容和方案,为后期西湖大学云谷校区的平台建设以及其他高校科研院所的微纳平台建设提供了相关参照。
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关键词
先进微纳加工与测试平台
超净化实验室
环境系统设计
公用工程
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职称材料
题名
先进微纳加工与测试平台超净化实验室环境系统设计综述
1
作者
朱俭峰
机构
西湖大学
出处
《洁净与空调技术》
2022年第1期71-79,共9页
文摘
西湖大学先进微纳加工与测试平台(以下简称“微纳平台”)依托工学院筹建,是西湖大学六个校级科研平台之一,秉承“顶尖、科学、经济”的理念,旨在打造由顶尖实验设备和优秀技术人才组建而成的先进微纳器件加工和微纳结构表征的大型仪器共享服务平台。简述了微纳平台超净化实验室系统工艺设计原则、理念、内容和方案,为后期西湖大学云谷校区的平台建设以及其他高校科研院所的微纳平台建设提供了相关参照。
关键词
先进微纳加工与测试平台
超净化实验室
环境系统设计
公用工程
Keywords
Westlake Center for Micro/Nano Fabrication(WCMNF)
Ultra-clean lab
Environmental System Design
Public Works
分类号
TU83 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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1
先进微纳加工与测试平台超净化实验室环境系统设计综述
朱俭峰
《洁净与空调技术》
2022
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