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超净高纯试剂的制备、检测及包装技术进展
被引量:
6
1
作者
高嫒嫒
张广平
+2 位作者
宋宽广
郝俪蓉
郑远洋
《化学试剂》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期713-718,共6页
超净高纯试剂是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一。在半导体工业中的消耗比例大致占10%-15%。超净高纯试剂制备的关键在于控制并达到其所要求的杂质含量和颗粒度。为使超净高纯试剂的质量达到要求,需要多方面的...
超净高纯试剂是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一。在半导体工业中的消耗比例大致占10%-15%。超净高纯试剂制备的关键在于控制并达到其所要求的杂质含量和颗粒度。为使超净高纯试剂的质量达到要求,需要多方面的条件予以保障。简述超净高纯试剂的纯化技术、检测及包装技术进展。
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关键词
超
净高
纯
试剂
纯
化
检测
包装
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职称材料
超净高纯试剂的现状、应用、制备及配套技术
被引量:
32
2
作者
穆启道
《化学试剂》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期142-145,共4页
对国内外微电子技术配套专用超净高纯试剂进行了评述
关键词
超
净高
纯
试剂
应用
制备
湿法清洗
半导体
刻蚀
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职称材料
超净高纯试剂提纯方法的研究进展
被引量:
3
3
作者
周淑珍
李涛
+1 位作者
李玉
任保增
《科技信息》
2009年第29期I0019-I0019,共1页
超净高纯试剂是化学试剂的主要发展方向之一,工业生产与科学研究对试剂纯度的要求越来越高。针对不同的需要,出现了许多不同的试剂提纯方法。本文列举了一些高纯试剂的提纯方法,并对其针对性及优缺点作了对比。
关键词
超
净高
纯
试剂
提
纯
方法
研究
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职称材料
我国超净高纯试剂的应用与发展
被引量:
6
4
作者
徐英伟
《微处理机》
2010年第3期1-5,共5页
超净高纯试剂是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化工材料之一,一代微细加工技术需要一代超净高纯试剂与之配套。简要介绍了国内外微电子技术中集成电路、分立器件和液晶显示器件等制作技术的现状及发展趋势,介绍了超净高纯试剂...
超净高纯试剂是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化工材料之一,一代微细加工技术需要一代超净高纯试剂与之配套。简要介绍了国内外微电子技术中集成电路、分立器件和液晶显示器件等制作技术的现状及发展趋势,介绍了超净高纯试剂在微电子技术发展过程中的几种主要应用及关键品种,阐述了国内外超净高纯试剂的现状及发展趋势,指出了我国超净高纯试剂的技术与产业化等方面与国外存在的主要差距和主要问题,最后指出了我国近期超净高纯试剂的产业化和研发的主要方向。
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关键词
微电子技术
超
净高
纯
试剂
应用
发展
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职称材料
石墨炉原子吸收法在电子工业用超净高纯试剂分析中的应用
被引量:
2
5
作者
陈旗
《辽宁化工》
CAS
2007年第12期839-841,共3页
研究了超净高纯试剂异丙醇中痕量镉的石墨炉原子吸收光谱测定法。制定了石墨炉原子吸收光谱法测定痕量镉的分析程序,试样经挥发浓缩,采用标准曲线法测定。石墨炉原子吸收光谱法测定超净高纯试剂异丙醇中痕量镉,较火焰原子吸收法灵敏度高...
研究了超净高纯试剂异丙醇中痕量镉的石墨炉原子吸收光谱测定法。制定了石墨炉原子吸收光谱法测定痕量镉的分析程序,试样经挥发浓缩,采用标准曲线法测定。石墨炉原子吸收光谱法测定超净高纯试剂异丙醇中痕量镉,较火焰原子吸收法灵敏度高,但由于超净高纯试剂异丙醇中基体比较复杂,因此在石墨炉原子吸收光谱法测定中,由基体引起的背景吸收干扰往往比较严重。为此利用氘灯进行背景校正。同时进行加标回收测定。分析测定结果令人满意。
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关键词
石墨炉原子吸收光谱法
超
净高
纯
试剂
异丙醇
痕量镉
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职称材料
集成电路制作技术的发展与超净高纯试剂的应用
被引量:
10
6
作者
穆启道
《集成电路应用》
2003年第2期56-60,共5页
本文根据集成电路制作技术的不同发展阶段对超净高纯试剂的不同要求,阐述了超净高纯试剂的应用、需求及发展状况。
关键词
集成电路
制作技术
超
净高
纯
试剂
应用
发展
下载PDF
职称材料
我国超净高纯试剂和光刻胶的现状与发展
被引量:
5
7
作者
曹立新
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第12期12-16,21,共6页
根据集成电路等制作技术不同发展阶段对超净高纯试剂和光刻胶的不同要求,阐述了国内外超净高纯试剂和光刻胶的现状、应用及发展状况等。
关键词
集成电路
超
净高
纯
试剂
光刻胶
现状
电子化工材料
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职称材料
超大规模集成电路的重要支撑材料——超净高纯试剂
被引量:
6
8
作者
沈哲瑜
《中国集成电路》
2008年第3期70-73,共4页
1国内外超净高纯试剂技术发展现状 超净高纯试剂(Ultra—clean and High—purity Reagents)在国际上通称为工艺化学品(Process Chemicals),美、欧和中国台湾地区又称湿化学品(Wet Chemicals),是超大规模集成电路(IC)制作过...
1国内外超净高纯试剂技术发展现状 超净高纯试剂(Ultra—clean and High—purity Reagents)在国际上通称为工艺化学品(Process Chemicals),美、欧和中国台湾地区又称湿化学品(Wet Chemicals),是超大规模集成电路(IC)制作过程中的关键性基础化工材料之一,主要用于芯片的清洗、蚀刻,另外超净高纯试剂还用于芯片掺杂和沉淀工艺。超净高纯试剂的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。
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关键词
超
大规模集成电路
超
净高
纯
试剂
支撑材料
技术发展现状
中国台湾地区
沉淀工艺
CLEAN
HIGH
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职称材料
超高纯氢氟酸的分析检测方法综述
被引量:
1
9
作者
朱建平
《云南化工》
CAS
2021年第9期51-52,55,共3页
对行业内通常使用的几种超高纯氢氟酸检测方法进行了阐述,并指出了每种检测方法的优劣性,为超高纯氢氟酸的准确检测提供依据。
关键词
超
高
纯
氢氟酸
超
净高
纯
试剂
痕量杂质分析
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职称材料
我国IC产业发展对高纯塑料材料的需求
10
作者
孙卫东
黄萍
+2 位作者
朱道峰
刘哲伟
刘秋晨
《国外塑料》
2005年第11期52-56,共5页
论述了我国信息产业发展对超净高纯包装及运输材料需求,以及国内外发展现状、开发应用前景等,我国目前需要在较高的起点上,通过引进消化吸收,集合制造业、加工工艺研究、检测技术等多方面的优势,进行工程化技术体系的研究,建立生产环境...
论述了我国信息产业发展对超净高纯包装及运输材料需求,以及国内外发展现状、开发应用前景等,我国目前需要在较高的起点上,通过引进消化吸收,集合制造业、加工工艺研究、检测技术等多方面的优势,进行工程化技术体系的研究,建立生产环境控制、应用测试与分析测试体系等,以便形成专业化和规模化生产。
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关键词
信息产业
集成电路产业
硅片清洗容器及运输与储存容器
托盘
超净高纯试剂的大小包装
运输及贮存槽罐
高
纯
水
试剂
输送管道度阀门
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职称材料
我国超净高纯试剂市场需求及产业化前景
被引量:
11
11
作者
穆启道
《精细与专用化学品》
CAS
2008年第23期18-21,共4页
一 微电子技术发展现状及趋势 随着集成电路集成度的不断提高,电路的线宽越来越细。从第一个晶体管问世算起.半导体技术的发展已有多半个世纪了.现在它仍保持着强劲的发展态势,继续遵循Moore定律,即芯片集成度18个月翻一番.每三...
一 微电子技术发展现状及趋势 随着集成电路集成度的不断提高,电路的线宽越来越细。从第一个晶体管问世算起.半导体技术的发展已有多半个世纪了.现在它仍保持着强劲的发展态势,继续遵循Moore定律,即芯片集成度18个月翻一番.每三年器件尺寸缩小0.7倍的速度在发展。特别是二十世纪九十年代末以来,集成电路制作技术的竞争更为激烈.发展速度更为加快,根据2007年的国际半导体技术路线图(International Technology Roadmap for Semiconductors,ITRS)显示,90nm、
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关键词
超
净高
纯
试剂
产业化前景
市场需求
电路集成度
Moore定律
ROADMAP
半导体技术
技术发展现状
原文传递
超净高纯试剂与紫外光刻胶
被引量:
4
12
作者
孙世铭
《精细与专用化学品》
CAS
1999年第10期8-10,1,共3页
超净高纯试剂和紫外光刻胶作为IC生产工艺中的关键材料,随着IC生产向亚微米和深亚微米方向发展,对他们提出了新的要求。
关键词
超
净高
纯
试剂
紫外光刻胶
试剂
集成电路
原文传递
中国集成电路用化学品发展现状
被引量:
9
13
作者
王海霞
冯应国
仲伟科
《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第11期1-7,共7页
从硅片、制程化学品两个大方面综合分析了国内外集成电路用材料的总体供求状况。在制程化学品方面,按超净高纯特种气体、光刻胶、湿电子化学品、CMP抛光材料四大部分,介绍了国际主要生产商、国内生产商及新建项目、市场消费情况,并对未...
从硅片、制程化学品两个大方面综合分析了国内外集成电路用材料的总体供求状况。在制程化学品方面,按超净高纯特种气体、光刻胶、湿电子化学品、CMP抛光材料四大部分,介绍了国际主要生产商、国内生产商及新建项目、市场消费情况,并对未来市场发展进行了预测。
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关键词
集成电路
光刻胶
特种气体
超
净高
纯
试剂
化学机械抛光
硅片
下载PDF
职称材料
电子信息基础产品用电子化工材料(摘选)
被引量:
2
14
作者
袁桐
吴坚
《精细化工原料及中间体》
2004年第3期2-5,共4页
电子化学品的特点之一是品种繁多,我国能工业化生产或能提供批量生产的产品品种有近1000种,现对其中的主要产品尤其是重点产品的情况分别介绍如下。
关键词
电子化工材料
光刻胶
超
净高
纯
试剂
环氧模塑料
电子用特种气体
印刷电路板材料
下载PDF
职称材料
电子工业用化工新材料的新进展
被引量:
2
15
作者
罗益锋
罗晰旻
《新材料产业》
2017年第10期39-42,共4页
一、概述 电子工业用化工原材料是制造军民两用电子元器件、集成电路和先进可靠电子系统等的基础材料,包括超净高纯试剂、特种气体、超纯水、彩色萤光粉、半导体材料、永磁材料、光刻胶、封装材料、抛光材料、镀膜靶材、硅片、平板显...
一、概述 电子工业用化工原材料是制造军民两用电子元器件、集成电路和先进可靠电子系统等的基础材料,包括超净高纯试剂、特种气体、超纯水、彩色萤光粉、半导体材料、永磁材料、光刻胶、封装材料、抛光材料、镀膜靶材、硅片、平板显示材料、柔性有机发光显示材料等,细分有2万多种。
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关键词
电子元器件
工业用
化工新材料
平板显示材料
超
净高
纯
试剂
化工原材料
半导体材料
军民两用
下载PDF
职称材料
我国电子化学品产业的发展现状及前景
被引量:
5
16
作者
吴雄杰
裘霞敏
《浙江化工》
CAS
2003年第6期25-27,共3页
针对微电子信息产业的发展对我国电子化学品行业带来的发展机遇,概述了行业发展的现状及超净高纯试剂与光刻胶两大类品种的生产现状、研究方向和市场潜力。
关键词
中国
电子化学品
产业发展
现状
市场前景
微电子技术
集成电路
超
净高
纯
试剂
光刻胶
下载PDF
职称材料
西陇化工挂牌上市
17
作者
苑晓蒙
《化学试剂》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第7期587-587,共1页
2011年6月2日,中小板新股西陇化工(002584)在深交所上市。该股本次上市5 000万股,发行价格为12.5元/股。西陇化工IPO募集资金拟投资于5万吨/年PCB用化学试剂项目、1万吨/年超净高纯试剂技术产业化生产项目、高端化学试剂工程技术研究...
2011年6月2日,中小板新股西陇化工(002584)在深交所上市。该股本次上市5 000万股,发行价格为12.5元/股。西陇化工IPO募集资金拟投资于5万吨/年PCB用化学试剂项目、1万吨/年超净高纯试剂技术产业化生产项目、高端化学试剂工程技术研究开发中心建设项目及其他与主营业务相关的营运资金项目。
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关键词
上市
化工
挂牌
超
净高
纯
试剂
研究开发中心
化学
试剂
技术产业化
生产项目
下载PDF
职称材料
西陇化工挂牌上市
18
作者
苑晓蒙
《化学试剂》
CSCD
北大核心
2011年第8期700-700,共1页
2011年6月2日,中小板新股西陇化工(002584)在深交所上市。该股本次上市5000万股,发行价格为12.5元/股。西陇化工IPO募集资金拟投资于5万吨/年PCB用化学试剂项目、1万吨/年超净高纯试剂技术产业化生产项目、高端化学试剂工程技...
2011年6月2日,中小板新股西陇化工(002584)在深交所上市。该股本次上市5000万股,发行价格为12.5元/股。西陇化工IPO募集资金拟投资于5万吨/年PCB用化学试剂项目、1万吨/年超净高纯试剂技术产业化生产项目、高端化学试剂工程技术研究开发中心建设项目及其他与主营业务相关的营运资金项目。募投项目的投产将大幅缓解高毛利率自制业务的产能瓶颈。作为国内为数不多的具备PCB用试剂和超净高纯化学试剂生产销售能力的企业,
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关键词
超
净高
纯
化学
试剂
上市
化工
挂牌
超
净高
纯
试剂
研究开发中心
生产项目
主营业务
下载PDF
职称材料
高纯度试剂专利信息
19
作者
申桂英
吴茜
《精细与专用化学品》
CAS
2008年第17期36-37,共2页
一种高纯度一氯甲烷的生产工艺;制备超净高纯试剂酸的方法及其精馏装置;制备高纯度磷化氢和其他气体的方法和装置;制备高纯度甲基叔丁基醚的方法;
关键词
超
净高
纯
试剂
专利信息
精馏装置
甲基叔丁基醚
高
纯
气体
生产工艺
一氯甲烷
纯
度
原文传递
机构鉴股
20
《股市动态分析》
2020年第11期56-58,共3页
江化微(603078):公司主营超净高纯试剂、光刻胶及光刻胶配套试剂等湿电子化学品的研发、生产,拥有中芯国际、华润微电子、长电科技等知名客户。中芯国际第一季度营收9.05亿美元创季度营收历史新高,同时,业内预计中芯国际在未来3个月来登...
江化微(603078):公司主营超净高纯试剂、光刻胶及光刻胶配套试剂等湿电子化学品的研发、生产,拥有中芯国际、华润微电子、长电科技等知名客户。中芯国际第一季度营收9.05亿美元创季度营收历史新高,同时,业内预计中芯国际在未来3个月来登录A股的可能性很大,相关企业受益匪浅,建议关注。
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关键词
中芯国际
电子化学品
长电科技
光刻胶
超
净高
纯
试剂
营收
微电子
历史新高
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职称材料
题名
超净高纯试剂的制备、检测及包装技术进展
被引量:
6
1
作者
高嫒嫒
张广平
宋宽广
郝俪蓉
郑远洋
机构
西安彩晶光电科技股份有限公司
西北工业集团
出处
《化学试剂》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期713-718,共6页
基金
2012年国家电子信息产业基金资助项目(工信部[2012]407号)
文摘
超净高纯试剂是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一。在半导体工业中的消耗比例大致占10%-15%。超净高纯试剂制备的关键在于控制并达到其所要求的杂质含量和颗粒度。为使超净高纯试剂的质量达到要求,需要多方面的条件予以保障。简述超净高纯试剂的纯化技术、检测及包装技术进展。
关键词
超
净高
纯
试剂
纯
化
检测
包装
Keywords
ultra-clean and high-purity reagents
purification
detection
packaging
分类号
TQ421.2 [化学工程]
下载PDF
职称材料
题名
超净高纯试剂的现状、应用、制备及配套技术
被引量:
32
2
作者
穆启道
机构
北京化学试剂研究所
出处
《化学试剂》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期142-145,共4页
文摘
对国内外微电子技术配套专用超净高纯试剂进行了评述
关键词
超
净高
纯
试剂
应用
制备
湿法清洗
半导体
刻蚀
Keywords
Ultra clean and high pure chemical reagents
actuality
application
preparation
assistant technology
分类号
TQ421.23 [化学工程]
下载PDF
职称材料
题名
超净高纯试剂提纯方法的研究进展
被引量:
3
3
作者
周淑珍
李涛
李玉
任保增
机构
郑州大学化学工程学院
出处
《科技信息》
2009年第29期I0019-I0019,共1页
文摘
超净高纯试剂是化学试剂的主要发展方向之一,工业生产与科学研究对试剂纯度的要求越来越高。针对不同的需要,出现了许多不同的试剂提纯方法。本文列举了一些高纯试剂的提纯方法,并对其针对性及优缺点作了对比。
关键词
超
净高
纯
试剂
提
纯
方法
研究
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ131.11 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
我国超净高纯试剂的应用与发展
被引量:
6
4
作者
徐英伟
机构
中国电子科技集团公司第四十七研究所
出处
《微处理机》
2010年第3期1-5,共5页
文摘
超净高纯试剂是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化工材料之一,一代微细加工技术需要一代超净高纯试剂与之配套。简要介绍了国内外微电子技术中集成电路、分立器件和液晶显示器件等制作技术的现状及发展趋势,介绍了超净高纯试剂在微电子技术发展过程中的几种主要应用及关键品种,阐述了国内外超净高纯试剂的现状及发展趋势,指出了我国超净高纯试剂的技术与产业化等方面与国外存在的主要差距和主要问题,最后指出了我国近期超净高纯试剂的产业化和研发的主要方向。
关键词
微电子技术
超
净高
纯
试剂
应用
发展
Keywords
Microelectronics
Process Chemicals
Application
Development
分类号
TN04 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
石墨炉原子吸收法在电子工业用超净高纯试剂分析中的应用
被引量:
2
5
作者
陈旗
机构
苏州市晶协高新电子材料有限公司
出处
《辽宁化工》
CAS
2007年第12期839-841,共3页
文摘
研究了超净高纯试剂异丙醇中痕量镉的石墨炉原子吸收光谱测定法。制定了石墨炉原子吸收光谱法测定痕量镉的分析程序,试样经挥发浓缩,采用标准曲线法测定。石墨炉原子吸收光谱法测定超净高纯试剂异丙醇中痕量镉,较火焰原子吸收法灵敏度高,但由于超净高纯试剂异丙醇中基体比较复杂,因此在石墨炉原子吸收光谱法测定中,由基体引起的背景吸收干扰往往比较严重。为此利用氘灯进行背景校正。同时进行加标回收测定。分析测定结果令人满意。
关键词
石墨炉原子吸收光谱法
超
净高
纯
试剂
异丙醇
痕量镉
Keywords
Graphite furnace atomic absorption
Super- pure Chemical Reagents isopropyl alcohol
Micro- amount cadmium
分类号
O657 [理学—分析化学]
下载PDF
职称材料
题名
集成电路制作技术的发展与超净高纯试剂的应用
被引量:
10
6
作者
穆启道
机构
北京化学试剂研究所
出处
《集成电路应用》
2003年第2期56-60,共5页
文摘
本文根据集成电路制作技术的不同发展阶段对超净高纯试剂的不同要求,阐述了超净高纯试剂的应用、需求及发展状况。
关键词
集成电路
制作技术
超
净高
纯
试剂
应用
发展
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
我国超净高纯试剂和光刻胶的现状与发展
被引量:
5
7
作者
曹立新
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第12期12-16,21,共6页
文摘
根据集成电路等制作技术不同发展阶段对超净高纯试剂和光刻胶的不同要求,阐述了国内外超净高纯试剂和光刻胶的现状、应用及发展状况等。
关键词
集成电路
超
净高
纯
试剂
光刻胶
现状
电子化工材料
Keywords
ultra-clean and high pure chemical reagents
photoresists
actuality
development
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ421.2 [化学工程]
下载PDF
职称材料
题名
超大规模集成电路的重要支撑材料——超净高纯试剂
被引量:
6
8
作者
沈哲瑜
机构
上海化学试剂研究所
出处
《中国集成电路》
2008年第3期70-73,共4页
文摘
1国内外超净高纯试剂技术发展现状 超净高纯试剂(Ultra—clean and High—purity Reagents)在国际上通称为工艺化学品(Process Chemicals),美、欧和中国台湾地区又称湿化学品(Wet Chemicals),是超大规模集成电路(IC)制作过程中的关键性基础化工材料之一,主要用于芯片的清洗、蚀刻,另外超净高纯试剂还用于芯片掺杂和沉淀工艺。超净高纯试剂的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。
关键词
超
大规模集成电路
超
净高
纯
试剂
支撑材料
技术发展现状
中国台湾地区
沉淀工艺
CLEAN
HIGH
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TS952.74 [轻工技术与工程]
下载PDF
职称材料
题名
超高纯氢氟酸的分析检测方法综述
被引量:
1
9
作者
朱建平
机构
河北省无机精细氟化工技术创新中心(筹)承德莹科精细化工股份有限公司
出处
《云南化工》
CAS
2021年第9期51-52,55,共3页
文摘
对行业内通常使用的几种超高纯氢氟酸检测方法进行了阐述,并指出了每种检测方法的优劣性,为超高纯氢氟酸的准确检测提供依据。
关键词
超
高
纯
氢氟酸
超
净高
纯
试剂
痕量杂质分析
Keywords
High-purity hydrofluoric acid
Ultra-clean reagents
Trace impurities analysis
分类号
TQ124.3 [化学工程—无机化工]
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职称材料
题名
我国IC产业发展对高纯塑料材料的需求
10
作者
孙卫东
黄萍
朱道峰
刘哲伟
刘秋晨
机构
北京市塑料研究所
出处
《国外塑料》
2005年第11期52-56,共5页
文摘
论述了我国信息产业发展对超净高纯包装及运输材料需求,以及国内外发展现状、开发应用前景等,我国目前需要在较高的起点上,通过引进消化吸收,集合制造业、加工工艺研究、检测技术等多方面的优势,进行工程化技术体系的研究,建立生产环境控制、应用测试与分析测试体系等,以便形成专业化和规模化生产。
关键词
信息产业
集成电路产业
硅片清洗容器及运输与储存容器
托盘
超净高纯试剂的大小包装
运输及贮存槽罐
高
纯
水
试剂
输送管道度阀门
Keywords
information industry
integrated circuit industry
wafer cleaning container and transportation and storage container
tray
various sized packaging for super clean and ultrapure reagent
transportation and storing vessel
ultrapure water, conduit and valve for reagent.
分类号
F062.5 [经济管理—政治经济学]
U465.41 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
我国超净高纯试剂市场需求及产业化前景
被引量:
11
11
作者
穆启道
机构
北京科华微电子材料有限公司
出处
《精细与专用化学品》
CAS
2008年第23期18-21,共4页
文摘
一 微电子技术发展现状及趋势 随着集成电路集成度的不断提高,电路的线宽越来越细。从第一个晶体管问世算起.半导体技术的发展已有多半个世纪了.现在它仍保持着强劲的发展态势,继续遵循Moore定律,即芯片集成度18个月翻一番.每三年器件尺寸缩小0.7倍的速度在发展。特别是二十世纪九十年代末以来,集成电路制作技术的竞争更为激烈.发展速度更为加快,根据2007年的国际半导体技术路线图(International Technology Roadmap for Semiconductors,ITRS)显示,90nm、
关键词
超
净高
纯
试剂
产业化前景
市场需求
电路集成度
Moore定律
ROADMAP
半导体技术
技术发展现状
Keywords
ultra-clean highly pure chemical reagent
situation
industrialization
分类号
F426.72 [经济管理—产业经济]
原文传递
题名
超净高纯试剂与紫外光刻胶
被引量:
4
12
作者
孙世铭
机构
北京化学试剂研究所
出处
《精细与专用化学品》
CAS
1999年第10期8-10,1,共3页
文摘
超净高纯试剂和紫外光刻胶作为IC生产工艺中的关键材料,随着IC生产向亚微米和深亚微米方向发展,对他们提出了新的要求。
关键词
超
净高
纯
试剂
紫外光刻胶
试剂
集成电路
Keywords
electronic chemicals, process chemicals, phototresist
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ421.4 [化学工程]
原文传递
题名
中国集成电路用化学品发展现状
被引量:
9
13
作者
王海霞
冯应国
仲伟科
机构
中国化工经济技术发展中心
山西省煤化工发展促进中心
出处
《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第11期1-7,共7页
文摘
从硅片、制程化学品两个大方面综合分析了国内外集成电路用材料的总体供求状况。在制程化学品方面,按超净高纯特种气体、光刻胶、湿电子化学品、CMP抛光材料四大部分,介绍了国际主要生产商、国内生产商及新建项目、市场消费情况,并对未来市场发展进行了预测。
关键词
集成电路
光刻胶
特种气体
超
净高
纯
试剂
化学机械抛光
硅片
Keywords
integrated circuit
photoresistor
specialty gases
ultra-clean and high-purity reagents
chemical mechanical polishing
silicon chip
分类号
TQ-9 [化学工程]
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职称材料
题名
电子信息基础产品用电子化工材料(摘选)
被引量:
2
14
作者
袁桐
吴坚
机构
中国电子材料行业协会
中国电子材料行业协会精细化工分会
出处
《精细化工原料及中间体》
2004年第3期2-5,共4页
文摘
电子化学品的特点之一是品种繁多,我国能工业化生产或能提供批量生产的产品品种有近1000种,现对其中的主要产品尤其是重点产品的情况分别介绍如下。
关键词
电子化工材料
光刻胶
超
净高
纯
试剂
环氧模塑料
电子用特种气体
印刷电路板材料
分类号
TQ04 [化学工程]
TN04 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
电子工业用化工新材料的新进展
被引量:
2
15
作者
罗益锋
罗晰旻
机构
全国特种合成纤维信息中心
出处
《新材料产业》
2017年第10期39-42,共4页
文摘
一、概述 电子工业用化工原材料是制造军民两用电子元器件、集成电路和先进可靠电子系统等的基础材料,包括超净高纯试剂、特种气体、超纯水、彩色萤光粉、半导体材料、永磁材料、光刻胶、封装材料、抛光材料、镀膜靶材、硅片、平板显示材料、柔性有机发光显示材料等,细分有2万多种。
关键词
电子元器件
工业用
化工新材料
平板显示材料
超
净高
纯
试剂
化工原材料
半导体材料
军民两用
分类号
F426.7 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
我国电子化学品产业的发展现状及前景
被引量:
5
16
作者
吴雄杰
裘霞敏
机构
浙江大学海纳半导体科技分公司
浙江省化工研究院蓝天环保高科技公司
出处
《浙江化工》
CAS
2003年第6期25-27,共3页
文摘
针对微电子信息产业的发展对我国电子化学品行业带来的发展机遇,概述了行业发展的现状及超净高纯试剂与光刻胶两大类品种的生产现状、研究方向和市场潜力。
关键词
中国
电子化学品
产业发展
现状
市场前景
微电子技术
集成电路
超
净高
纯
试剂
光刻胶
分类号
F426.7 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
西陇化工挂牌上市
17
作者
苑晓蒙
出处
《化学试剂》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第7期587-587,共1页
文摘
2011年6月2日,中小板新股西陇化工(002584)在深交所上市。该股本次上市5 000万股,发行价格为12.5元/股。西陇化工IPO募集资金拟投资于5万吨/年PCB用化学试剂项目、1万吨/年超净高纯试剂技术产业化生产项目、高端化学试剂工程技术研究开发中心建设项目及其他与主营业务相关的营运资金项目。
关键词
上市
化工
挂牌
超
净高
纯
试剂
研究开发中心
化学
试剂
技术产业化
生产项目
分类号
F124.3 [经济管理—世界经济]
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职称材料
题名
西陇化工挂牌上市
18
作者
苑晓蒙
出处
《化学试剂》
CSCD
北大核心
2011年第8期700-700,共1页
文摘
2011年6月2日,中小板新股西陇化工(002584)在深交所上市。该股本次上市5000万股,发行价格为12.5元/股。西陇化工IPO募集资金拟投资于5万吨/年PCB用化学试剂项目、1万吨/年超净高纯试剂技术产业化生产项目、高端化学试剂工程技术研究开发中心建设项目及其他与主营业务相关的营运资金项目。募投项目的投产将大幅缓解高毛利率自制业务的产能瓶颈。作为国内为数不多的具备PCB用试剂和超净高纯化学试剂生产销售能力的企业,
关键词
超
净高
纯
化学
试剂
上市
化工
挂牌
超
净高
纯
试剂
研究开发中心
生产项目
主营业务
分类号
F124.3 [经济管理—世界经济]
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职称材料
题名
高纯度试剂专利信息
19
作者
申桂英
吴茜
出处
《精细与专用化学品》
CAS
2008年第17期36-37,共2页
文摘
一种高纯度一氯甲烷的生产工艺;制备超净高纯试剂酸的方法及其精馏装置;制备高纯度磷化氢和其他气体的方法和装置;制备高纯度甲基叔丁基醚的方法;
关键词
超
净高
纯
试剂
专利信息
精馏装置
甲基叔丁基醚
高
纯
气体
生产工艺
一氯甲烷
纯
度
分类号
TQ222.214 [化学工程—有机化工]
原文传递
题名
机构鉴股
20
出处
《股市动态分析》
2020年第11期56-58,共3页
文摘
江化微(603078):公司主营超净高纯试剂、光刻胶及光刻胶配套试剂等湿电子化学品的研发、生产,拥有中芯国际、华润微电子、长电科技等知名客户。中芯国际第一季度营收9.05亿美元创季度营收历史新高,同时,业内预计中芯国际在未来3个月来登录A股的可能性很大,相关企业受益匪浅,建议关注。
关键词
中芯国际
电子化学品
长电科技
光刻胶
超
净高
纯
试剂
营收
微电子
历史新高
分类号
F42 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超净高纯试剂的制备、检测及包装技术进展
高嫒嫒
张广平
宋宽广
郝俪蓉
郑远洋
《化学试剂》
CAS
CSCD
北大核心
2014
6
下载PDF
职称材料
2
超净高纯试剂的现状、应用、制备及配套技术
穆启道
《化学试剂》
CAS
CSCD
北大核心
2002
32
下载PDF
职称材料
3
超净高纯试剂提纯方法的研究进展
周淑珍
李涛
李玉
任保增
《科技信息》
2009
3
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职称材料
4
我国超净高纯试剂的应用与发展
徐英伟
《微处理机》
2010
6
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职称材料
5
石墨炉原子吸收法在电子工业用超净高纯试剂分析中的应用
陈旗
《辽宁化工》
CAS
2007
2
下载PDF
职称材料
6
集成电路制作技术的发展与超净高纯试剂的应用
穆启道
《集成电路应用》
2003
10
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职称材料
7
我国超净高纯试剂和光刻胶的现状与发展
曹立新
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003
5
下载PDF
职称材料
8
超大规模集成电路的重要支撑材料——超净高纯试剂
沈哲瑜
《中国集成电路》
2008
6
下载PDF
职称材料
9
超高纯氢氟酸的分析检测方法综述
朱建平
《云南化工》
CAS
2021
1
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职称材料
10
我国IC产业发展对高纯塑料材料的需求
孙卫东
黄萍
朱道峰
刘哲伟
刘秋晨
《国外塑料》
2005
0
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职称材料
11
我国超净高纯试剂市场需求及产业化前景
穆启道
《精细与专用化学品》
CAS
2008
11
原文传递
12
超净高纯试剂与紫外光刻胶
孙世铭
《精细与专用化学品》
CAS
1999
4
原文传递
13
中国集成电路用化学品发展现状
王海霞
冯应国
仲伟科
《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
2018
9
下载PDF
职称材料
14
电子信息基础产品用电子化工材料(摘选)
袁桐
吴坚
《精细化工原料及中间体》
2004
2
下载PDF
职称材料
15
电子工业用化工新材料的新进展
罗益锋
罗晰旻
《新材料产业》
2017
2
下载PDF
职称材料
16
我国电子化学品产业的发展现状及前景
吴雄杰
裘霞敏
《浙江化工》
CAS
2003
5
下载PDF
职称材料
17
西陇化工挂牌上市
苑晓蒙
《化学试剂》
CAS
CSCD
北大核心
2011
0
下载PDF
职称材料
18
西陇化工挂牌上市
苑晓蒙
《化学试剂》
CSCD
北大核心
2011
0
下载PDF
职称材料
19
高纯度试剂专利信息
申桂英
吴茜
《精细与专用化学品》
CAS
2008
0
原文传递
20
机构鉴股
《股市动态分析》
2020
0
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职称材料
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