弯曲振动模式压电超声微马达研究

对一种圆柱状结构、基于弯曲振动模式的压电超声微马达作了一些结构改进性探索和实验研究，并采用有限元方法对其振动模式进行了分析．已研制的直径为15mm、长25mm的微马达样机，显示出非常高的角分辨率（0．01°）、低速（30r／min～70r／min）和大的力矩（0．055N.m）特性，已在激光多维精密控制系统中获得成功的应用．

压电微马达研究进展

利用网络和图书馆对国际上 1996年至今的压电微马达研究进展进行了调研。分别介绍了压电薄膜、陶瓷的行波、驻波类微马达的最新研究情况 ,同时也对一种具有与压电微马达特性相同的静电超声微马达的研究作了说明 。

Φ2mm棒状压电陶瓷微马达的研究

研制了一种成本低廉、结构简单的直径Φ２ｍｍ的摆头式棒状压电微马达。文中详细阐述了微马达的驱动机理、制作工艺及部分压电微马达的工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸Φ２ｍｍ×８ｍｍ的压电陶瓷圆棒，马达整体装配外形尺寸Φ２ｍｍ×１２ｍｍ，重量不足０．２５ｇ，稳定工作频带宽，约为３ｋＨｚ，最高空载转速不低于５００ｒ／ｍｉｎ。