期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
超高精度大直径硅片表面超声浮动抛光
被引量:
6
1
作者
陈洁
《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2008年第3期413-416,共4页
为了提高大直径硅片表面质量,利用超声浮动抛光加工宏观磨削力、磨削应力、磨削热小,对加工材料表面损伤低的特点,再结合相关磨料对超高精度大直径硅片表面进行超声浮动抛光加工。在工作机理研究的基础上,对大直径硅片超声浮动抛光加工...
为了提高大直径硅片表面质量,利用超声浮动抛光加工宏观磨削力、磨削应力、磨削热小,对加工材料表面损伤低的特点,再结合相关磨料对超高精度大直径硅片表面进行超声浮动抛光加工。在工作机理研究的基础上,对大直径硅片超声浮动抛光加工进行了实验研究,优化了其工作参数,获得了满意的效果,为该技术的实际应用奠定了理论与实验基础。
展开更多
关键词
大直径硅片
超声
磨削
超声浮动抛光
下载PDF
职称材料
题名
超高精度大直径硅片表面超声浮动抛光
被引量:
6
1
作者
陈洁
机构
苏州市职业大学机电工程系
出处
《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2008年第3期413-416,共4页
基金
国家863基金资助项目(2003AA430190)
文摘
为了提高大直径硅片表面质量,利用超声浮动抛光加工宏观磨削力、磨削应力、磨削热小,对加工材料表面损伤低的特点,再结合相关磨料对超高精度大直径硅片表面进行超声浮动抛光加工。在工作机理研究的基础上,对大直径硅片超声浮动抛光加工进行了实验研究,优化了其工作参数,获得了满意的效果,为该技术的实际应用奠定了理论与实验基础。
关键词
大直径硅片
超声
磨削
超声浮动抛光
Keywords
large diameter silicon
ultrasonic grinding
ultrasonic float polishing
分类号
TH132 [机械工程—机械制造及自动化]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超高精度大直径硅片表面超声浮动抛光
陈洁
《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2008
6
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部