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石英器件加工工艺及最新进展
被引量:
8
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作者
周岩
刘晓胜
+2 位作者
杨乐民
郑胜军
张广玉
《中国机械工程》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期668-671,共4页
介绍国内外石英器件加工工艺发展 ,以石英摆片为例 。
关键词
石英器件
磨
料
喷射
超声落料
石英摆片
化学蚀刻
下载PDF
职称材料
题名
石英器件加工工艺及最新进展
被引量:
8
1
作者
周岩
刘晓胜
杨乐民
郑胜军
张广玉
机构
哈尔滨工业大学机电学院
东南大学无线电系
出处
《中国机械工程》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期668-671,共4页
文摘
介绍国内外石英器件加工工艺发展 ,以石英摆片为例 。
关键词
石英器件
磨
料
喷射
超声落料
石英摆片
化学蚀刻
Keywords
quartz device ultrasonic blanking chemical etching laser beam cutting
分类号
TH824.406 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
石英器件加工工艺及最新进展
周岩
刘晓胜
杨乐民
郑胜军
张广玉
《中国机械工程》
CAS
CSCD
北大核心
2000
8
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职称材料
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