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石英器件加工工艺及最新进展 被引量:8
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作者 周岩 刘晓胜 +2 位作者 杨乐民 郑胜军 张广玉 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期668-671,共4页
介绍国内外石英器件加工工艺发展 ,以石英摆片为例 。
关键词 石英器件 喷射 超声落料 石英摆片 化学蚀刻
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