一种超导薄膜滤波器频率精确修正方法

针对某型超导薄膜滤波器制作完成后的频率偏离现象,借助激光对超导薄膜滤波器线条进行修剪,以修正超导滤波器的频率。结合仿真计算,滤波器修正后频率与设计值一致;其它指标仍能满足设计要求。借助激光修正超导薄膜滤波器频率,将显著降低对设计和工艺制作的高精度要求,可实现更高的成品率。