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磁控溅射制备超导量子结
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作者 刘声雷 《真空》 CAS 北大核心 1994年第2期23-26,共4页
本文介绍了用磁控溅射技术制备超导量子结的工艺,对其电学特性进行了测试,分析了影响超导量子结电学特性的各种因素。
关键词 磁控溅射 超导量子结 超导器件
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超导Josephson结的制备及其特性研究
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作者 刘声雷 《微细加工技术》 1993年第3期74-77,共4页
本文详细讨论了用微细加工技术制作Josephson结的过程以及影响其电学特性的各种因素,用湿法刻蚀技术制备了面积为4×4μm^2的Josephson结,并在4.4K闭循环制冷机上观察到了较为理想的Josephson效应。
关键词 微细加工 JOSEPHSON 测射 超导量子结
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