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磁控溅射制备超导量子结
1
作者
刘声雷
《真空》
CAS
北大核心
1994年第2期23-26,共4页
本文介绍了用磁控溅射技术制备超导量子结的工艺,对其电学特性进行了测试,分析了影响超导量子结电学特性的各种因素。
关键词
磁控溅射
超导量子结
超导
器件
下载PDF
职称材料
超导Josephson结的制备及其特性研究
2
作者
刘声雷
《微细加工技术》
1993年第3期74-77,共4页
本文详细讨论了用微细加工技术制作Josephson结的过程以及影响其电学特性的各种因素,用湿法刻蚀技术制备了面积为4×4μm^2的Josephson结,并在4.4K闭循环制冷机上观察到了较为理想的Josephson效应。
关键词
微细加工
JOSEPHSON
结
测射
超导量子结
下载PDF
职称材料
题名
磁控溅射制备超导量子结
1
作者
刘声雷
机构
合肥工业大学应用物理系
出处
《真空》
CAS
北大核心
1994年第2期23-26,共4页
文摘
本文介绍了用磁控溅射技术制备超导量子结的工艺,对其电学特性进行了测试,分析了影响超导量子结电学特性的各种因素。
关键词
磁控溅射
超导量子结
超导
器件
分类号
O511.1 [理学—低温物理]
下载PDF
职称材料
题名
超导Josephson结的制备及其特性研究
2
作者
刘声雷
机构
合肥工业大学应用物理系
出处
《微细加工技术》
1993年第3期74-77,共4页
文摘
本文详细讨论了用微细加工技术制作Josephson结的过程以及影响其电学特性的各种因素,用湿法刻蚀技术制备了面积为4×4μm^2的Josephson结,并在4.4K闭循环制冷机上观察到了较为理想的Josephson效应。
关键词
微细加工
JOSEPHSON
结
测射
超导量子结
Keywords
microfabrication
Josephson tunnel junction
分类号
TN305.92 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
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作者
出处
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1
磁控溅射制备超导量子结
刘声雷
《真空》
CAS
北大核心
1994
0
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职称材料
2
超导Josephson结的制备及其特性研究
刘声雷
《微细加工技术》
1993
0
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职称材料
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