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日本科学家开发成功纳米级加工技术
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《物理通报》 2001年第9期14-14,共1页
日本大阪大学科学家竹田精治教授近日开发成功纳米级加工技术。这种技术可用于制造超小型半导体元件。据日本报纸报道,这种技术使用电子束照射硅晶体的表面后,硅原子会吸收电子束的能量而发生运动,从而使硅晶体表面形成凸凹,其直径(相... 日本大阪大学科学家竹田精治教授近日开发成功纳米级加工技术。这种技术可用于制造超小型半导体元件。据日本报纸报道,这种技术使用电子束照射硅晶体的表面后,硅原子会吸收电子束的能量而发生运动,从而使硅晶体表面形成凸凹,其直径(相连的峰与峰或者谷与谷之间的距离) 展开更多
关键词 超小型半导体元件 自我组织化 硅晶体 电子束 日本 纳米级加工技术
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