国外超微机电系统研究现状及其应用前景展望

超微机电系统是由微米级零部(组)件构成的机电一体化产品,它应用前景广阔,涉及光学、医学、生物工程,微型机器人、微型汽车、微型仪器仪表、微型视频、视听装置及宇航等领域.本文就超微机电系统的发展、关键技术、驱动用超微静电电机及其应用前景展望做一扼要阐述,望能引起同行对此高新技术的重视,并可供作行业和企业制定产品发展规划参考.

国外新颖微电机发展状况

随着现代科学技术的飞速发展,对微电机的要求也越来越高。然而,基于电磁原理的电动机却有时无法满足这些条件。因此,近年来,人们借助微电子技术、精密机械技术、新材料技术、生物技术以及计算机技术等,研制出不少新结构、新原理的微电机,一些非电磁原理的微电机的开发工作也取得了很大的进展,并且在各个领域得到广泛的应用。