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脉冲激光沉积薄膜技术研究新进展
被引量:
31
1
作者
敖育红
胡少六
+2 位作者
龙华
徐业斌
王又青
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期453-456,459,共5页
脉冲激光沉积薄膜是近年来发展起来的使用范围最广、最有希望的制膜技术。陈述了其原理、特点、研究方法 ,总结了超快脉冲激光、脉冲激光真空弧。
关键词
超快脉冲激光沉积
双光束
脉冲
激光
沉积
脉冲
激光
真空弧薄膜制备
薄膜技术
下载PDF
职称材料
题名
脉冲激光沉积薄膜技术研究新进展
被引量:
31
1
作者
敖育红
胡少六
龙华
徐业斌
王又青
机构
华中科技大学激光技术国家重点实验室
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期453-456,459,共5页
文摘
脉冲激光沉积薄膜是近年来发展起来的使用范围最广、最有希望的制膜技术。陈述了其原理、特点、研究方法 ,总结了超快脉冲激光、脉冲激光真空弧。
关键词
超快脉冲激光沉积
双光束
脉冲
激光
沉积
脉冲
激光
真空弧薄膜制备
薄膜技术
Keywords
ultra fast pulsed laser deposition
dual beam lasers
pulsed laser vacuum arc
thin technology
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
脉冲激光沉积薄膜技术研究新进展
敖育红
胡少六
龙华
徐业斌
王又青
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003
31
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