一种基于双膜结构的宽频光学麦克风

由于传统基于膜片或悬臂梁式的光学麦克风频响范围较窄,且在不同环境和需求下检测的声波频率范围不同,设计了一种基于双膜结构的宽频光学麦克风。该光学麦克风由单模光纤、超材料膜片和波导膜片组成。理论分析了2个膜片的结构参数对传感器性能的影响,利用COMSOL Multiphysics进行了仿真,并对制备出的光学麦克风进行了测试。仿真结果表明:所设计的光学麦克风在1~100 kHz频率内具有平坦的频率响应,其谐振频率为170 kHz。