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作者 章子元 《表面工程》 CSCD 1989年第4期53-56,共4页
超硬薄膜的制备——稻川幸之助，《金属表面技术》，1088．N0．2，P2-11(日文)
关键词 超硬薄摸 制备方法 CVD法 材料处理工艺 等离子体 参量 表面处理
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