低温PVD法制备多组分超硬薄膜相组成研究

回顾了多组分硬质薄膜的发展 ,指出了多组分薄膜低温淀积时相组成研究与预测存在的问题。对多组分硬质薄膜 ,包括类质同晶体系与多组分共熔体 ,低共熔体系、转熔体系、亚稳定固熔体与非晶固熔体 ,化合物 ,梯度薄膜 ,多相薄膜材料 ,多层薄膜和超晶格薄膜等可能的相组成与相关性质进行了讨论。对淀积速率与薄膜厚度 ,相组成与薄膜均质性 。