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超硬非晶碳薄膜用作红外增透膜的研究
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作者 郭建 杨益民 杨国伟 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期419-421,共3页
用激光烧蚀石墨靶方法在单晶硅衬底表面沉积了不同厚度的非晶碳膜。对膜进行了表面形貌观察、显微硬度测试 ,测试并分析了膜的Raman光谱和傅立叶变换红外光谱。发现膜含微晶石墨杂质较少 ,具有硬度高、化学惰性等优点 ,适应于制作硅衬... 用激光烧蚀石墨靶方法在单晶硅衬底表面沉积了不同厚度的非晶碳膜。对膜进行了表面形貌观察、显微硬度测试 ,测试并分析了膜的Raman光谱和傅立叶变换红外光谱。发现膜含微晶石墨杂质较少 ,具有硬度高、化学惰性等优点 ,适应于制作硅衬底上波长低于 展开更多
关键词 超硬非晶碳薄膜 红外增透膜 激光烧蚀 增透保护膜
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