基于积分分离数字PID控制的超精密定位系统的设计

作为精密加工工业的基础 ,超精密定位技术已经成为高精度加工的关键环节之一。本文设计了集位移数据采集、处理、控制于一体的超精密定位系统。在阐述了PID控制算法的一般原理基础上 ,采用了一种基于积分分离数字PID的控制算法 。

纳米级精密机械的设计及特性

最近,Queensgate仪器有限公司研制出一系列超精定位机械,它们将Queensgate的压电及纳米级传感器技术融合为具有亚纳米级定位精度能力的多轴定位控制器。在这篇论文中,将介绍和讨论在这些机械的研制中所用到的一些技术,以解释如何获得纳米或亚纳米级水平的计量能力。