超精密平面光学元件检测技术

超精密光学元件是决定高端装备性能的核心元件,在大科学装置、精密仪器等领域中被广泛应用。对光学元件进行高精度检测是保证元件质量的重要途径。光学检测技术因具有非破坏性、高精度而成为光学元件检测的有效技术。首先,对超精密光学元件主要检测技术进行了综述,重点介绍技术原理、研究现状和应用瓶颈;其次,针对光学检测技术中的相位解调问题,以波长移相测量技术为例,结合超精密平面光学元件检测,概述了相位解调算法的原理与实现过程,并对其性能进行综合评估;最后,展望光学元件检测技术的未来发展趋势。