大型超精密平面度在线测量新方法

本文介绍了一种应用于大型超精密平面度在线测量与误差分离的新方法，这种方法综合了逐次递推分离方法速度快、处理简单和二维最小二乘分离方法结果精确的优点。仿真及实验验证了该方法的正确性。