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高加速度超精密激光外差干涉测量模型
被引量:
5
1
作者
陈洪芳
丁雪梅
+4 位作者
钟志
谭久彬
王维雅
谢站磊
李海英
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期72-75,共4页
为了精确地描述激光外差干涉在高加速度超精密测量中加速度对位移测量精度的影响机理与规律,建立了高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型。通过分析测量棱镜三维运动对多普勒频移的影响,推导出高加速度激光外差干涉位移测量模型。理...
为了精确地描述激光外差干涉在高加速度超精密测量中加速度对位移测量精度的影响机理与规律,建立了高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型。通过分析测量棱镜三维运动对多普勒频移的影响,推导出高加速度激光外差干涉位移测量模型。理论分析和仿真实验表明,当测量加速度为9m/s2,匀加速运行的位移为500mm时,由于加速度变化引起的相对论性效应对测量精度的影响为5nm。高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型的建立,可提高激光外差干涉在高加速度超精密测量中的测量精度,为激光外差干涉在高速和超高速测量领域的应用提供了理论依据。
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关键词
外差干涉
超精密测量模型
加速度
高速
测量
下载PDF
职称材料
激光外差干涉快速超精密测量模型研究
被引量:
9
2
作者
钟志
谭久彬
+1 位作者
马洪文
孙文法
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期791-794,共4页
为了精确地描述激光外差干涉在快速超精密测量中的位移测量,建立了激光外差干涉快速超精密测量模型。传统外差干涉测量模型采用舍去高阶误差的方法,便于分析与快速计算,但在快速纳米精度测量中,高阶误差已经影响到测量精度,根据多普勒...
为了精确地描述激光外差干涉在快速超精密测量中的位移测量,建立了激光外差干涉快速超精密测量模型。传统外差干涉测量模型采用舍去高阶误差的方法,便于分析与快速计算,但在快速纳米精度测量中,高阶误差已经影响到测量精度,根据多普勒频移公式,通过分析激光外差干涉的测量原理,在已有的激光干涉测量模型上增加了v2/c的积分项,相当于将传统测量模型进行了高阶误差补偿。通过理论分析可知,当最高测量速度为1m/s,运行位移为3m时,该测量模型能够减小约18nm的测量误差,解决了传统测量模型存在的残余误差累计问题,从而为激光外差干涉在快速超精密测量领域的应用提供了一种理论依据。
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关键词
光学
测量
激光外差干涉
快速
超精密测量模型
多普勒频移
残余误差
原文传递
题名
高加速度超精密激光外差干涉测量模型
被引量:
5
1
作者
陈洪芳
丁雪梅
钟志
谭久彬
王维雅
谢站磊
李海英
机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
哈尔滨工业大学航天学院通信工程系
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期72-75,共4页
文摘
为了精确地描述激光外差干涉在高加速度超精密测量中加速度对位移测量精度的影响机理与规律,建立了高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型。通过分析测量棱镜三维运动对多普勒频移的影响,推导出高加速度激光外差干涉位移测量模型。理论分析和仿真实验表明,当测量加速度为9m/s2,匀加速运行的位移为500mm时,由于加速度变化引起的相对论性效应对测量精度的影响为5nm。高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型的建立,可提高激光外差干涉在高加速度超精密测量中的测量精度,为激光外差干涉在高速和超高速测量领域的应用提供了理论依据。
关键词
外差干涉
超精密测量模型
加速度
高速
测量
Keywords
heterodyne intefferometry
ultra-precision measurement model
acceleration
high-speed measurement
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
激光外差干涉快速超精密测量模型研究
被引量:
9
2
作者
钟志
谭久彬
马洪文
孙文法
机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期791-794,共4页
基金
国家自然科学基金(50275041)资助课题。
文摘
为了精确地描述激光外差干涉在快速超精密测量中的位移测量,建立了激光外差干涉快速超精密测量模型。传统外差干涉测量模型采用舍去高阶误差的方法,便于分析与快速计算,但在快速纳米精度测量中,高阶误差已经影响到测量精度,根据多普勒频移公式,通过分析激光外差干涉的测量原理,在已有的激光干涉测量模型上增加了v2/c的积分项,相当于将传统测量模型进行了高阶误差补偿。通过理论分析可知,当最高测量速度为1m/s,运行位移为3m时,该测量模型能够减小约18nm的测量误差,解决了传统测量模型存在的残余误差累计问题,从而为激光外差干涉在快速超精密测量领域的应用提供了一种理论依据。
关键词
光学
测量
激光外差干涉
快速
超精密测量模型
多普勒频移
残余误差
Keywords
Error compensation
Heterodyning
Interferometers
Laser applications
Spatial variables measurement
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高加速度超精密激光外差干涉测量模型
陈洪芳
丁雪梅
钟志
谭久彬
王维雅
谢站磊
李海英
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
5
下载PDF
职称材料
2
激光外差干涉快速超精密测量模型研究
钟志
谭久彬
马洪文
孙文法
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
9
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