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干涉定位法及其在超精检测中的应用
被引量:
1
1
作者
杨俊才
黄松筠
《应用激光》
CSCD
北大核心
1995年第3期100-102,共3页
叙述了激光干涉定位的原理及方法,定位精度可达0.01μm,采用条纹细分技术进行微位移检测,精度为0.01μm,并将上述方法用于物件平行度检测。
关键词
干涉定位
相敏检波
条纹细分
超精检测
原文传递
题名
干涉定位法及其在超精检测中的应用
被引量:
1
1
作者
杨俊才
黄松筠
机构
国防科技大学应用物理系
出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
1995年第3期100-102,共3页
文摘
叙述了激光干涉定位的原理及方法,定位精度可达0.01μm,采用条纹细分技术进行微位移检测,精度为0.01μm,并将上述方法用于物件平行度检测。
关键词
干涉定位
相敏检波
条纹细分
超精检测
Keywords
interferometic positioner, OPSWD, split phase of interference fringes, precise measurement
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
干涉定位法及其在超精检测中的应用
杨俊才
黄松筠
《应用激光》
CSCD
北大核心
1995
1
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