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超精细纳米结构加工技术
被引量:
2
1
作者
张敬民
廖志敏
+2 位作者
尤力平
叶恒强
俞大鹏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2007年第3期167-170,共4页
利用高能会聚电子束的辐照损伤能力,在300 kV高分辨透射电镜中成功加工出小于5 nm的超精细纳米结构。加工精度在特征尺寸和空间位置上可同时达到一个纳米。加工的纳米结构具有原子尺度的边界,并可以通过高分辨像直接监视纳米结构的形成...
利用高能会聚电子束的辐照损伤能力,在300 kV高分辨透射电镜中成功加工出小于5 nm的超精细纳米结构。加工精度在特征尺寸和空间位置上可同时达到一个纳米。加工的纳米结构具有原子尺度的边界,并可以通过高分辨像直接监视纳米结构的形成过程。这种技术可以广泛应用于各种无机材料,尤其适用于无机化合物。结合自动控制,这种技术可以用于加工任意复杂的二维纳米结构。
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关键词
超精细纳米结构
高分辨透射电镜
纳米
加工
下载PDF
职称材料
题名
超精细纳米结构加工技术
被引量:
2
1
作者
张敬民
廖志敏
尤力平
叶恒强
俞大鹏
机构
北京大学物理学院北京大学电子显微镜实验室
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2007年第3期167-170,共4页
基金
国家973项目(2002CB613505)
文摘
利用高能会聚电子束的辐照损伤能力,在300 kV高分辨透射电镜中成功加工出小于5 nm的超精细纳米结构。加工精度在特征尺寸和空间位置上可同时达到一个纳米。加工的纳米结构具有原子尺度的边界,并可以通过高分辨像直接监视纳米结构的形成过程。这种技术可以广泛应用于各种无机材料,尤其适用于无机化合物。结合自动控制,这种技术可以用于加工任意复杂的二维纳米结构。
关键词
超精细纳米结构
高分辨透射电镜
纳米
加工
Keywords
ultrafine nanostructure
HRTEM
nanofabrieation
分类号
TB383.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超精细纳米结构加工技术
张敬民
廖志敏
尤力平
叶恒强
俞大鹏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2007
2
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