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超纯半导体的高分辨率光热电离光谱
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作者 俞志毅 黄叶肖 +3 位作者 朱景兵 陆卫 沈学础 Eugene E.Haller 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第3期173-176,共4页
一、引言 超纯半导体不仅在核辐射及红外辐射探测等方面有重要应用,而且对半导体浅杂质态研究亦具有积极意义。由于超纯半导体中浅杂质含量极微,所有传统的杂质检测方法已难以探测和识别,因此很有必要发展相应的高灵敏度检测手段。
关键词 超纯半导体 光热电离光谱 浅杂质
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