大流量超纯氢气纯化设备制造技术

超纯氢气 (大于 6N)是半导体硅外延等工艺必备的工艺气体。文章介绍了利用超低温吸附的方法提纯大流量超纯氢气的工作原理 ,设备制造中的关键技术问题及难点 。

硅外延用大流量超纯氢气纯化系统的设计技术

在半导体集成电路制造工艺中 ,超纯氢气是必不可少的重要工艺气体。特别是在硅外延工艺中 ,氢气对工艺质量起着决定性作用。因此 ,对氢气的指标要求比较苛刻 ,其纯度应大于99.9999% ,而且必须是大流量连续供应。文章主要从流体学和传热学两方面 ,系统地介绍了利用超低温吸附方法提纯大流量超纯氢气设备的关键设计技术。

中科院大连化物所超纯氢气纯化技术工业应用示范装置获成功

由中国科学院大连化学物理研究所甲烷高效转化新材料与新过程研究组研制的高性能金属钯复合膜材料和800m^3／h规模超纯氢气纯化技术进行了工业应用示范试验并获得成功．这是我国自主开发的国际上首套利用廉价金属钯复合膜进行超纯氢气纯化的工业应用示范装置．

取代氢气瓶的新型设备——超纯氢气发生器正式投产

在环境监测工作中,常常需要超纯氢气做为载气或燃气用以分析大气中的污染物质。超纯氢气发生器就是用贵金属钯、银合金材料做阴极,用镍做阳极电解水产生纯度极高的氢气,并放出氧气。其电化学反应如下: 阳极:OH-→H2O+O O+O→O2↑阴极:H2O+Pd-e→[PdHn]+OH- [PdH]→Pd+H H+H→H2↑阴极透氢过程为 [PdHn]（?）[PdHn-1]+H（?）……（?）与Pd+H2↑这里最主要的是钯阴极的活性表面。它是产氢吸氢、透氢的关键所在。

首套超纯氢气纯化示范装置投运

中国科学院2015年5月26日发布消息称，由中科院大连化学物理研究所甲烷高效转化新材料与新过程研究组研制的高性能金属钯复合膜材料，以及800m^3／h规模超纯氢气纯化技术工业应用示范试验获得成功。这是国际上首套利用廉价金属钯复合膜进行超纯氢气纯化的工业应用示范装置，目前仍在平稳运行中。

国内自主开发超纯氢气纯化技术

2015年5月17日，由科技部技术中心组织的专家组对大连化物所和华海制氢设备有限公司承担的国家“863”膜专项课题“超纯氢气分离膜材料及规模化制备技术”进行了现场测试。这标志着由中国科学院大连化学物理研究所甲烷高效转化新材料与新过程研究组研制的高性能金属钯复合膜材料和800m^2／h规模超纯氢气纯化技术进行了工业应用示范试验并获得成功。这是国内自主开发的世界首套利用廉价金属钯复合膜进行超纯氢气纯化的工业应用示范装置。标志着国内具有自主知识产权的超纯氢气纯化技术，可为战略性新兴产业提供廉价的超纯氢气原料。

超纯氢气净化器

本文主要介绍了利用联合工艺法来精制氢气,并叙述了超纯氢气净化器的工作原理、吸附剂的选择和装置流程。

高性价比金属钯复合膜“提纯”氢气 首套超纯氢气纯化示范装置投运

中国科学院5月26日发布消息称，由中科院大连化学物理研究所甲烷高效转化新材料与新过程研究组研制的高性能金属钯复合膜材料，以及800立方米／时规模超纯氢气纯化技术工业应用示范试验获得成功。这是国际上首套利用廉价金属钯复合膜进行超纯氢气纯化的工业应用示范装置，目前仍在平稳运行中。